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SID4 R-CUBE 为一台集成式照明模块,可配合SID4系列波前位相传感器构成双光路光学元件测试系统。SID4 R-CUBE提供高品质的准直光源照明(可选择透镜构成汇聚/发散光源),并可直接连接至SID4系列传感器。可用于大口径平面及曲面镜片,透镜组件的测试及校准。
照明及光路组件SID4 R-CUBE主要特征:
l <20nm rms 精度
l <2nm rms 分辨率
l 震动不敏感
l 紧凑尺寸
l 用户可选照明波长
l 与平移台/ 旋转台/ 倾斜台兼容
照明及光路组件SID4 R-CUBE主要参数:
兼容传感器 | SID4, SID4 HR, SID4 SWIR |
光束直径 | 与传感器入瞳直径匹配 |
光源波长 | 635,780,808,1064,1550,1650nm可选 |
光源质量 | <20nm rms (635 - 808nm) <30nm rms (1064 - 1650nm) |
双光路参考镜片质量 | λ/20 P-V (633nm) |
位相分辨率(噪声) | <2nm rms |
测试方法图示:
l 用于自适应光学中消除分析臂的望远镜像差
1:SID4 位相传感器;2:SID4 R-CUBE模块;3:扩束望远镜。
l 大口径平面镜测试
l 双光路镜头品质测试:镜头,物镜,望远镜...任意尺寸与放大率
l 凹面镜测试
图例:1. SID4 波前传感器;2. SID4 R-CUBE照明模块;3. 望远镜/ 扩束镜;4. 待测(平)表面;5. 待测光学元件;6. 参考凹面镜;7. 物镜(光束变换用);8. 待测凹面镜