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Union光学THS-10非接触式厚度台阶测量装置
Union光学THS-10非接触式厚度台阶测量装置
THS-10非接触式厚度台阶测量装置
使用目标标记投影方法的显微镜可以从上方和下方无接触地夹在中间,从而可以轻松进行高精度测量。
THS-10是一种非接触式厚度台阶测量仪,采用光学焦点检测方法,将使用目标标记方法的精密聚焦单元与上下显微镜光学系统相结合。可以在检查物体的正确位置和形状的同时测量厚度和 25 mm 的台阶。由于是光学式,操作简单,任何人只需将目标标记上下的垂直线对齐,即可轻松进行高精度测量。
镜子/ | 垂直可动范围 | 粗140mm,细10mm或25mm |
可观察的高度 | 150mm | |
落射照明 | 目标标记(从 2 种类型中选择)内置照明、无级音量调光、 | |
Z轴测量范围 | 10mm 或 25mm(取决于 Z 轴刻度选择) | |
Z轴测量精度 | 范围 ≤ 1 μm(0 至 10 mm 规格),范围 ≤ 2 μm(0 至 25 mm 规格) | |
桶 | 直立三目 | 20°俯仰角,正像,护眼调节范围54-75mm,带C接口 |
物镜 | PL/PLLWD/ | 无限远校正物镜 (∞) 3, 5, 10, 20, 40, 50, 100x |
目镜 | NWF10X | 10 倍放大倍率,16 个视野,包括偏心实线十字线 |
阶段 | 移动量(XY) | 50×50、100×50、100×100(毫米) |
测量精度 | 两者 XY:(4+0.02L) μm L:测量长度(mm) | |
选项 | 防震台、照相机、显示器、运算器、测量软件、 |