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MDA-20SA光刻机

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2023-02-26
型号
科睿设备有限公司

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气溶胶设备
产品简介
产品描述:MDA-20SA 在线订购
详细信息
MDA-20SA光刻机
光刻机又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统,光刻机,紫外曝光机等;
MIDAS为的半导体设备供应商,多年来致力于掩模对准光刻机和匀胶机研发与生产,并且广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域;该公司是目前早将光刻机商品化的公司之一,拥有雄厚的技术研发力量和设备生产能力;并且其设备被众多企业、研发中心、研究所和高校所采用;以优秀的技术、的工艺和良好的服务,赢得了用户的青睐。

产地:韩国MIDAS公司,能做到图形化蓝宝石衬底(PSS)光刻机,高性价比
型号:MDA-20SA
厂家链接:.cn/


MDA-20SA

操作简单,可编程控制器(PLC)操作,PC控制,图像采集和数据记录,100多个程序配方,电动操纵杆控制,电动变焦显微镜和工作台,显微镜位置控制系统


操纵杆控制,半自动

掩模版尺寸规格,用户订制

基板尺寸规格(大面积),用户订制

均匀光束规格,用户订制

紫外线光源:紫外线灯,5 kW

光束波长350~450 nm

光束均匀度<±7%

365 nm强度5 kW: ~45 mW/㎠

对准方法:操纵手柄控制半自动

对准精度1 um

工艺模式:软、硬、真空接触和接近

分辨率:透镜 >3 um,反射镜:>9 um


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