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超声扫描显微镜(SAT)是一种利用超声波为传播媒介的无损检测成像设备,主要利用高频超声波,对各类半导体器件、材料进行检测,能够检测出样品内部的气孔、裂纹、夹杂和分层等缺陷,并以图形的方式直观展示。在扫描过程中,不会对样品造成损伤,不会影响样品性能,可有效满足新能源、半导体、电力电子、热管理材料、金刚石复合材料、碳纤维复合材料等行业需求。
1、 具备A(点扫描)、B(纵向扫描)、C(横向扫描),Tray-托盘扫描等系列扫描模式。
2、 具备定量测分析功能,以图像方式直观显示被测件内部缺陷的位置、形状和大小,并进行缺陷的尺寸和面积统计,自动计算缺陷占所测量面积的百分比;具备缺陷尺寸标识;厚度与测距等功能。
3、 适用于单个器件的快速扫描分析,也可批量放置样品同步进行缺陷识别,快速筛选出不合格品。
4、 可兼容1~25MHz的超声探头。
5、 检测软件自主研发,中英文界面,可根据客户需求对功能进行持续升级。
产品参数:
序号 | 机电特性 | 规格型号 |
1 | 整机尺寸 | 600mm×650mm×500mm |
2 | 水槽尺寸 | 300mm×220mm×120mm |
3 | 有效扫描范围 | 200mm×25mm×50mm |
4 | 扫描速度 | 300mm/s |
5 | 超声探头 | 可兼容1~25MHz的超声探头。 |
6 | 定位精度 | X/Y≤±1μm,Z≤±10μm |
7 | 重复定位精度 | X/Y≤±0.01mm,Z≤±0.02mm |
产品主要配置:
序号 | 名称 | 规格 |
1 | 扫描系统 | X、Y轴:伺服电机驱动;Z轴:步进电机驱动; |
2 | 水槽 | 300mm x 220mm x 120 mm |
3 | 超声发射、接收器 | 带宽1-30MHz |
4 | 高速数据采集卡 | 采样频率 100MHz |
5 | 工控机 | i5处理器、内存4GB、硬盘1T、Win7 32位操作系统。 |
6 | 显示器 | 21.5"液晶显示器一个 |
7 | 上下水系统 | 手动控制水槽系统的注排水过程(选配) |
8 | 检测软件 | 和伍超声无损检测软件 |
行业应用:
适用于电器焊接件、陶瓷材料等领域的缺陷检测。