产品简介

TSK521系列中量程流量气体质量流量控制器/流量计由质量流量传感器、层流原件、质量流量控制器调节阀和放大电路组成，它利用流动的流体传递热量改变测量毛细管温度分布的热传导分布效应而制成，其原理是采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的信号进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。用以准确可靠的测量和控制气体质量流量，测量和控制精度高、零飘小，测量和控制范围宽，测量和控制的准确度不受环境温度和外界压力的影响，广泛的应用于真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学化工实验设备、分析仪器、冶金材料工程、能源动力等各领域。

技术特点

1、采用热式原理、气体的质量流量不受环境温度及压力的变化而变化。
2、管状分流原理，便于更改量程，安装简易。
3、良好的传感器封装，减少外部温度变化的敏感性。
4、测量和控制的量程范围大，满量程可达300ln/min
5、预热时间短、零飘小、测量和控制精度高，适用于微小流量的测量和控制。
6、可通过二次仪表或者PLC与仪表进行通讯，操作简单。
7、可直接与上位机连接，实现组网，便于操作。