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ADVANCED ENERGY电源
一、美国ADVANCED ENERGY公司介绍
ADVANCED ENERGY已经用了三十多年的时间为其全球客户完善电源,往后还将继续如此。ADVANCED ENERGY为任务关键型应用和过程设计和制造高度工程化的精密功率转换,测量和控制解决方案。ADVANCED ENERGY的产品使客户能够在广泛的行业中的复杂应用中进行创新,以此来提高企业的竞争力。
二、美国ADVANCED ENERGY部分产品介绍
1.电源MDX系列
精密的调节功能、优良的灭弧和较低的存储输出能量使ADVANCED ENERGY的MDX系列直流电源成为业界的产品。由于在真空环境下的经久耐用,这些适应于恶劣环境的电源经常被作为直流磁控管溅射传动而受到广泛应用。该产品系列还提供精密的调节性能,如射频溅射中的偏压电源和蚀刻系统。紧密的设计使之成为实验室系统解决方案。
2.电源Pinnacle® Plus+
ADVANCED ENERGY的Pinnacle® Plus+电源为单体直流脉冲电源,为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点,包括使用简单、节约成本以及具有的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术,Pinnacle Plus+电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比,沉积率更高,重复性能更好,薄膜质量更为优异。
3.电源Crystal
ADVANCED ENERGY电源Crystal非常适用于大面积玻璃镀膜应用,如建筑玻璃、汽车玻璃、减反射镀膜和高反射镜等。更低的故障率,回报您更高的产量。这些电源的可用功率为180kW,120KW,60KW。为双靶磁控溅射应用提供了更宽祖抗匹配的低频率正弦工艺电源。
4.A电源PDX系列
PDX系列小功率(1250和1400W)及大功率(5000和8000W)中频电源为各种广泛的工艺应用提供一种高效、紧凑、易于整合的电源。这些高度可靠的电源提高了工艺灵活性,提供广泛的运行频率范围以优化工艺控制,确保较高的工艺重复性,并提高了吞吐量。
5.ADVANCED ENERGY功率控制器Thyro-A系列
Thyro-A系列数字晶闸管功率控制器支持高达1500A的负载电流和高达600V的电压。所有的测量,状态和设定点通信都可以通过PLC或过程计算机进行处理。可以进行独立操作或与过程控制直接结合。