微小气体质量流量计SCMFM

采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS( Microelectromechanical systems)气体质量流量计和流量控制器，主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。

该产品能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿。

微小气体质量流量计SCMFM 技术参数：

2.1  测量介质：各种气体(乙炔气和混合气体除外)

2.2  流量范围：DN3   30-300ml/min

DN6   60-600ml/min

DN8   80-800ml/min

DN10  100-1000ml/min

注：

a)以上流量的测量介质为空气而言；

b)以上流量的标准状态20℃，101.325kPa。

c) 每个口径量程范围均可扩大

d)特殊需要可单独标定

2.3   流量测量准确度：±1.5%FS；±2.5%FS

2.4   工作温度范围：0-55℃；

2.5   工作压力范围：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa

2.6   供电电源：24VDC±10%；

2.7   输出信号：4-20mA，RS485通讯；

2.8   环境温度：0-55℃；

2.9   显示位数：瞬时流量为三位，累积流量10位。

的工作原理：

uf感热式芯片技术是采用大规模集成电阻的工作， 保证传感器的高度*，解决了：“现在传统的热式质量流量计无法保证其传感器的电阻值的*性，导致传感器在各个法线方向热传导速度的差异，所以传统的热式质量流量计在传感器校准和使用过程中产品稳定性存在问题，实际应用中的热式质量流量计价格昂贵，大规模应用比较难”的问题。而uf感热式芯片的功耗大大小于普通的热式质量流量计，同时可靠性稳定,安全性更好。

在芯片上，一个微热源及分别处于微热源上下游的温度传感器集成在采用MEMS的*工艺制作的镂空桥面上。采用这这样的桥式方式制作有利于热传导，使动态响应时间大大提高。当传感器工作时，微热源与环境温度之间保持一定的温差(通常是70℃)，在芯片周围形成固定的温度场分布。如果气体是单向流动，则在气道中温度场可用下述公式来计算：

式中：气体流动方向为x，速度为v，a为扩散率。

如上图(式)所示，当气体流过芯片时，将会带走热量，通过质量流量qm和电压V的对应关系来计算流体的质量流量。