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科晶 GSL-1100X-PJF-A型 等离子表面处理仪

具体成交价以合同协议为准

2022-10-23
型号
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产品简介
一款紧凑的大气离子表面处理喷射系统,主要由射频发生器、离子束头组成,工作气氛:空气、氮气、氩气、混合气体,但不要使用易燃易爆气体
详细信息

沈阳科晶 GSL-1100X-PJF-A型 等离子表面处理仪


仪器概述:

    GSL-1100X-PJF-A 等离子表面处理仪是一款紧凑的大气离子表面处理喷射系统,主要由射频发生器、离子束头组成。喷射的离子束流能在较低的温度和没有真空条件的环境下,迅速活化和清理材料(如单晶片、光学元件、塑料等)表面杂质。本机是为获得高质量的外延薄膜或光学涂层,预*行表面处理的可靠选择。


主要技术参数:

产品型号

GSL-1100X-PJF-A 等离子表面处理仪

主要特点

1、高速处理物件表面,操作简单、安全。
2、无需真空和腔室环境。
3、小巧实用、成本低。
4、重量轻、结构紧凑。
5、已通过CE认证。

技术参数

1、电源:110/220V 50Hz/60Hz <100W
2、输出频率:20KHz-23KHz
3、离子束头:圆头10mm-12mm,矩形头15mm-18mm
4、输入气压:最小0.275MPa
5、工作气氛:空气、氮气、氩气、混合气体,但不要使用易燃易爆气体
6、等离子工作压力:0.048MPa-0.068MPa
7、工作环境:温度<42℃,湿度≤40%RH
8、工作台:自动控制三维工作台,X、Y轴电动调节,Z轴手动调节
9、真空吸盘:Ø100mm
10、X轴行程:200mm
11、Y轴行程:100mm
12、Z轴行程:50mm

产品规格

1、尺寸:600mm×600mm×1250mm

2、重量:55kg


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