中级会员第 15 年代理商
参考价：
-
- 面议
真空矩形阀
具体成交价以合同协议为准
2024-09-24深圳市
- 型号
产品简介
真空矩形阀广泛应用于半导体、光电产业之镀膜设备，安装于生产线与过渡腔室（load-lock chamber），过渡腔室（load-lock chamber）与传输系统（handling system），传输系统（handling system）与制程腔室（process chamber）等需要真空与压力分隔的地方。
详细信息
产品应用
Htc真空矩形阀是采用了直连驱动技术的真空阀，外形尺寸小，设计紧凑，所有动件皆位于大气侧因而与真空侧隔绝，可减少粉尘产生，并提升产品的使用寿命。另外还有无气压时的封合自锁保护，封板快速拆装设计易维修等优点。
设计原理/特征
l 低振动及低粉尘设计(Low vibration and Low particle)
l 利用凸轮机构与弹簧完成封板封合动作。
l 双气压缸、单出力轴驱动。
l 驱动轴杆封合顶紧辅助装置。
l 无气压时的封合自锁保护装置。
l 封板快速拆装设计，方便O-ring维修更换。
l 100 万周期寿命。
真空矩形阀分类
l 标准型矩形闸阀(Standard Rectangular Transfer valves)
l 标准型矩形门型闸阀(Rectangular doors)
l 大型矩形闸阀(Large rectangular transfer valves)
l 大型矩形门型闸阀(Large rectangular doors)
Body 材质
铝合金或不锈钢(Aluminum or Stainless)
Body 表面处理
电解抛光 or 铝硬阳处理(Electrolytic polishing or Hard anodized Aluminum)
相关技术文章
