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气体质量流量计 气体流量计 微型流量传感器 厂家
FS4000是采用的微机电系统(MEMS)流量传感器技术和智能电子控制技术,专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量,低压损。
气体质量流量计 气体流量计 微型流量传感器 厂家
型号:FS4000系列
产品概述:MF4000系列带数显;FS4000系列不带数显
FS4000是采用的微机电系统(MEMS)流量传感器技术和智能电子控制技术,专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量,低压损。适用于净化空气或氮气流量监控,还可用于环境采样器(如色谱分析仪器等)
FS4003流量传感器,管道内径为3mm,成本低测量范围到5SLPM;适用于粒子计数器和各类分析仪器。
FS4008流量传感器,管道内径为8mm,测量范围到50SLPM;可用于麻醉设备、洁净气体检测,如:空气采样机,气体分析仪等
产品特点:
-专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而
设计
-支持多种连接方式,易于安装与使用
-传感芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传感器的高精度计量
-在单个芯片上实现了多传感器集成,使其量程比达到了100:1甚至更高
-输出方式灵活,既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据,也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
-零点稳定度高
-全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性
-低功耗、低压损
-响应速度快
机械尺寸:
产品特点:
性能参数 | FS4003 | FS4008 | 单位 |
通径 | 3 | 8 | mm |
流量 | 2, 3, 4, 5 | 10, 20, 30, 40, 50 | SLPM |
量程比 | ≥100:1 |
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精度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重复性 | 0.25 | % | |
零点输出飘移 | ±30 | mV | |
输出飘移 | ±0.12 | %/℃ | |
响应时间 | 10(默认,50,100,200,500,1000可设置) | msec | |
工作电源 | 8~18Vdc,50mA |
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输出方式 | 线性,RS232/RS485,模拟电压0.5~4.5Vdc |
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流量压损 | 100 | 600 | Pa |
工作压力 | 0.5 | MPa | |
工作温度 | -10 ~ + 55 | ℃ | |
存储温度 | -20 ~ + 65 | ℃ | |
工作湿度 | <95%RH(无结冰、无凝露) |
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机械接口 | BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头 |
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校准方式 | 空气(或其他气体),20℃,101.325kPa |
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重量 | 57(带R1/4,BSPT1/4接口) 71(带4mm,8mm快速接口,68(带6mm快速接头) | g |