参数

FR-系列

椭偏仪

探針针式轮廓仪

X 射线反射率 (XRR)

最小测量厚度

1nm

<1nm

20nm

<1nm

测量厚度

500um

10um

Few mm

200-300 nm (depending on the contrast)

折射率测量

是

是

否

否

厚度测绘

是

是

是

Time consuming

阶高轮廓

否

否

是

否

制程即时监控能力

高

中等

N/A

N/A

探头位于样品正上方

是

否

否

否

整体测量速度

高

中等

Slow

Very Slow

数据获取率

10msec / 每次测量

>2sec-快速模式,

>10 sec. –标准模式

5-30sec / 每次测量

平均：30 分钟 / 每次测量

可移動性

是

否

否

否

易于使用

是

中等

是

否

破坏性檢測

否

否

是

否

需特别训练

否

是

否

是

移动部件

否

是

是

是

重复性/稳定性

0.1nm

0.1nm

0.4nm

是

热环境测量

是

是

否

Ν/Α

样品制备

否

否

是

否

多层测量

是

是

否

是

定制

是

否

否

是

反射率、透射率、吸收率、镜面反射/漫反射、雾度、颜色测量

是

是(特定条件下)

否

否

尺寸

手持/桌面

体积小(>300mm W x 110mm D x 40mm H)*

桌面

体积中等(500 mm W x 300 mm D x 300 mm H)

桌面

体积中等(450 mm W x 550 mm D x 350 mm H)

体积大(1400mm W x 850mm D x 1800 H)

重量

0.65Kg *

>17 kg

>30 kg

>350Kg

更换零件的价格

低

高

高

极高

价格（基本系统）

低(<$10K)

高(>$30K)

高(>$30K)

极高

可測量特性

膜厚

折射率

表面粗糙度

均匀度

单波长椭偏仪

膜厚

折光率

椭偏仪

膜厚

折射率

表面粗糙度

均匀度

双折射

结晶度

各向异性

膜厚

台阶高度

粗糙度

波度

二维应力

表面曲率

除了厚度之外，还提供以下信息：每个子层的粗糙度、密度和厚度、子层之间的相互扩散