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EPX180N EPX180N 半导体干式真空泵
具体成交价以合同协议为准
2022-07-24上海
- 型号
- EPX180N
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产品简介
EPX“N”系列包括一个可提供氮清洗的气体模块，从而可将应用范围扩大为中等制程，在这类制程中预期存在的腐蚀性蒸汽和微粒的程度较低。
新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能，运行成本更低。EPX180 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。模块化 EPX180 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
详细信息
概述
新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能，运行成本更低。EPX180 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。
模块化 EPX180 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
模块化 EPX180 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
应用
- 负载锁
- 传输腔
- PVD 溅射
- 灰化/PR 剥离
- 电介质刻蚀
EPX“N”系列包括一个可提供氮清洗的气体模块，从而可将应用范围扩大为中等制程，在这类制程中预期存在的腐蚀性蒸汽和微粒的程度较低。
功能和优势
- 紧凑的占地面积 – 作为可用的工具上泵之一，EPX 节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。
- 低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式，从而可大化功率效率。
- 的保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在进气口压力下连续工作。
- 清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。
- – EPX 基于经过现场验证的 IPX ，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大约每 5 年维修一次，大程度地延长了泵的使用寿命。
- 可兼容的网络 - EPX 系列配有终用户控制，可以连接到结构的网络，以进行诊断监视和控制
数据
| 峰值速度 | 170 m3h-1 |
| 105 ft3min-1 | |
| 2835 lmin-1 | |
| 极限真空 | |
| <1 x 10-4 mbar | |
| <7.5 x 10-5 Torr | |
| <1 x 10-2 Pa | |
| 预热时间（达到标称性能） | 30 分钟 |
| 入口法兰 | ISO63 |
| 法兰 | NW25 |
| 噪音 | <59 dB(A) |
| 水接头 | 3/8 in 快速 |
| 冷却水流速 | 2 lmin-1 |
| 冷却水温度 | 15 – 35°C |
| 氮气供给接口 | 1/4 in (6.5 mm) 管 |
| 氮气供给压力 | 3 x 105 – 7 x 105 Pa |
| 低氮纯度 | 99.95% |
| 电源供给 | 200/208 V，50/60 Hz 三相 |
| 极限功率 | 1.4 kW |
| 电机额定功率 | 3.0 kW |
| TIM | C3 |
| 重量 | 43.5 kg |
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