重庆半导体晶圆测试气体质量流量控制器 系列参数

• 量程范围：40 g/h 至 100 kg/h

• 测量范围： 2 –100 F.S.

• 精度，NIST 可溯源（液体）：读数的 ±0.2% 或 ±0.05% F.S.，以较大者为准

• 精度，NIST 可溯源（气体）：读数的 ±0.5% 或 ±0.05% F.S.，以较大者为准

• 重复性：读数的 ±0.05% 或 ±0.025% F.S.，以较大者为准

• 零位稳定性：±0.05% F.S.

• 响应时间：快至500ms

重庆半导体晶圆测试气体质量流量控制器 系列操作条件

• 工作温度：–35 至 70°C（流体）； 0 至 60°C（环境）；咨询 Alicat 了解更多选项

• 耐压：1500 PSIA 大部分单位； 40 g/h 单位为 200 PSIA；可选 4000 PSIA，≥100 g/h

设备的定制范围从 40 g/h 到 100 kg/h ，测量范围为 2 到 100 F.S.。

有关所有设备的规格，请参阅Alicat_CODA-SPECS-CN-v3。

如需全面的设备指南，请阅读 CODA 仪表操作手册。