石英玻璃拉制空燃配比气体质量流量控制器

型号变体

• 阀门内置（确保与SEMI端口长度一致）型号（MCE系列）

• 阀门内置并加装气动截止阀的型号，适合真空应用（MCV系列）

• 腐蚀性气体型号（MCS系列，见下文）

另有：

• 阀门安装在外部的标准配置型号(MC系列)

石英玻璃拉制空燃配比气体质量流量控制器

阀门选项

您可以为您的质量流量控制器定制以下一种阀门，以确保在预期过程条件下保持性能。

• MCE系列—选配外部安装的小型比例控制阀

• MCV系列—选配内部安装的小型比例控制阀以及外部下游安装的气动截止阀

腐蚀性气体（MCES和MCVS系列）

MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MCES和MCVS系列）可供选择。在该配置中，我们将阀门升级为303不锈钢阀门，传感器升级为316L不锈钢传感器，弹性体材料升级为FFKM。