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SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 数字式 / 模拟式质量流量控制器, 适用于50slm N2 标称流量.
SEC-Z532X 和 SEC-Z542X数字式 / 模拟式质量流量控制器, 适用于200slm N2 标称流量.
SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet™ 质量流量控制器, 适用于 50slm N2 标称流量.
SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet™质量流量控制器, 适用于 200slm N2 标称流量.
质量流量计是半导体制造设备中非常关键的零部件。它的工作稳定与否往往成为半导体制程成败的关键因素。
HORIBA STEC, 作为范围内*超过35%*1的流量计生产商, 长期以来始终如一的为半导体工业提供高质量、多功能的产品。现在,手携全新的技术,HORIBA STEC 正在向推广新型的质量流量控制器: Z500系列。
相对于旧有的型号,Z500X 系列实现了全新的突破, 而且注定将改变流量控制技术的未来。在提供客户所需流量控制的所有功能的同时, 实现了复合气体、复合流量的转换。客户可以根据制程需要,轻松地更改流量计气体种类和量程*2。
此外,藉由产品材料的技术革新, Z500系列全面满足了 RoHS 绿色产品的设计要求,为客户提升产品价值。
高性能的Z500系列流量计,将带给您更多惊喜。正见证着这一即将改变整个半导体工业的新型质量流量计的诞生。
*1 参考 VLSI's 2007 研究报告。
*2 复合气体、复合流量功能。