中级会员第 3 年经销商
参考价:
具体成交价以合同协议为准
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FC-R7800系列不仅能提供高精度流量控制。
采用金属材质密封具备优异的低泄漏特性,可适用于绝大多数气体控制应用。提供行业通用和AE*电气信号可选方案,可方便对用户使用的质量流量控制器(MFC)进行替换,操作简单。
特点:
◆高精度
◆高信赖和可靠性
◆耐腐蚀设计
◆采用金属密封材质
◆VCR、Swagelok互换的气路接口
◆10SCCM-200SLM满量程范围
◆方便的互换性
◆高速应答***的统一性,目前世界上有大约7万只在运行中的产品,内的返修率不到0.5%,广受客户赞誉
◆方便的互换性
技术参数:
性能指标 | FC-R7800CD/FC-R7800D系列
| FC-R7810CD/FC-R7810D系列
| FC-R7820CD/FC-R7820D系列
|
满量程范围
| 10Sccm-5Slm | N/O:6-20slm* N/C:6-50slm** | 35-200Slm |
响应时间 | 满流量的±2%范围内,小于2秒 | 满流量的±2%范围内,小于3秒 | |
精度 | ≤±1%满量程 | ≤±2%满量程 | |
线性镀 | ≤满量程±0 5% | ≤满量程±0 5% #1 | ≤满量程±1% |
重复性 | ≤满量程±0.2% | ||
泄漏率 | 1X10E-11 Pa.m ?/sec | ||
控制范围 | 满流量的2%-5% #2 | ||
压差 | 49Kpa-275Kpa
| 69Kpa-275Kpa 98Kpa-275Kpa | 147Kpa-275Kpa
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正常工作压 力 | 490Kpa
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进气压力 | 980Kpa
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温度范围
| 5-45℃(41-113℉)
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输入电源
| +15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 180mA | +15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 200mA | |
功率 | 3.1W max | 3.5W max | |
输入信号 | 0-5 VDC | ||
输出型号 | 0-5 VDC | ||
控制阀形式 | 常开或常闭电磁阀 | ||
密封件 | 金属密封 | ||
材质 | 316L,316,PTFE,不锈钢(氟橡胶,氯丁橡胶) | ||
标准接口 | 1/4"VCR和Swagelok兼容 | 3/8"VCR,1/4"VCR | |
重量 | 1.0KG | 2.7KG |
#1满量程流量值大于30SLM线性度≤满量程±1%
#2满量程流量值大于150SLM控制范围为5%-***
#3满量程流量值大于150SLM压差范围为147-296Kpa