免费会员 其他
参考价：
-
- 面议
匀胶、显影处理系统-AutoTrack
具体成交价以合同协议为准
2022-04-05
- 型号
该企业相似产品
产品简介
匀胶、显影处理系统-AutoTrack
详细信息
产品特点：
同一设备实现2"-8"晶圆兼容.
涂胶、显影模块自带暂停/恢复功能.
同片盒内每个硅片可分别制定工艺运行.
干湿分离，电液分隔.
维护省力、简便.
设备和各工位全封闭设计，不受外环境干扰可独立增加层流罩，提升小环境洁净度.
相关技术文章
