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TPY-1椭圆偏振测厚仪

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2022-04-02
型号
天津市拓普仪器有限公司

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分析仪器、光学仪器、教学仪器、物理光学仪器、演示仪器、光学平台、调整架、光电子、激光、光纤光学、光纤传感、光纤光栅、光通信、分光光度计、实验仪器、光源、光学零件、附件
产品简介
TPY-1椭圆偏振测厚仪
详细信息


仪器介绍
    TPY-1椭圆偏振测厚仪采用消光法手动调节,自动测量薄膜厚度和折射率,精度高、灵敏度高、方便测量。光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长精度高。仪器采用USB2.0接口与电脑连接,软件具有生成表、查表以及精确计算等功能,方便用户使用。
 
规格参数
测量范围薄膜厚度范围:1nm-300nm;折射率范围:1-10
测量厚度最小示值(nm≤1
偏振器方位角范围0°- 180°读取分辨率为0.05°
偏振器步进角0.014°/步
测量膜厚(nm±1
折射率重复性精度±0.01
入射角调节范围20°~90°精度为0.05°
入射光波长(nm632.8
光学中心高(mm80
允许样品尺寸(mm)φ10-φ140,厚度≤15
外形尺寸(mm)590*390*290
主机重量(kg25
 
配置表
基本配置TPY-1椭圆偏振测厚仪主机1台
TPY-1主机电控箱1套
 二氧化硅膜样片1片
TPY-1椭圆偏振测厚仪专用软件1套
需另配计算机及打印机1套
 
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