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简易流量控制安装
在*的质量流量测量基础上,Compod™搭配了Sierra的Smart-Trak® 2质量流量计或流量控制器使得设备网络组态更加方便。通过开源RTU协议,Compod™也可以监控或诊断流量控制器的内部系统参数值。用户在配备了Compod™后可以对Smart-Trak®质量流量计和控制器进行更复杂的控制,两路数字输出和一路模拟输入可以对以下工艺参数进行配配置。
• Gas mixing and blending
• Batch control
• Sensor driven leak testing
• Process monitoring
• Physical Vapor Deposition (Sputtering)
• 压力监控及控制
• 气体比率控制
• 内部阀门性能监测
• 多报警信号设置
• 客户自定义流量启动停止配置
• 气体累计及可调脉冲输出设置
• 更多...