在线超纯水粒子计数器评判标准：

v JJG 1061-2010 《液体颗粒计数器检定规范》

v SJ/T 11638-2016 《电子化学品中颗粒的测试方法》

v GB/T 29024.2-2016 《粒度分析 单颗粒的光学测量方法 第2部分：液体颗粒计数器光散射法》

v GBT 11446.3-2013 《电子级水测试方法通则》

v GBT 11446.9-2013 《电子级水中微粒的仪器测试方法》

v ISO 21501-2:2007 《Determination of particle size distribution — Single particle light interaction methods — Part 2: Light scattering liquid-borne particle counter》

在线超纯水粒子计数器应用范围：

（1）单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装 、引线柜架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件 、电容器洁净产品及各种元器件冲洗、清洗等生产工艺。

（2）电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃等领域。

（3）化工工艺用水、化学药剂、化妆品等。

（4）高压变电器的清洗等

超纯水粒子计数器技术参数：

订制要求：各类液体检测要求；

传感器：第八代双激光窄光检测器；

测试软件：V8.3分析测试软件集成版&PC版；

操作方式：彩色液晶触摸屏操作&无线键鼠组合；

检测范围：0.1-100um（0.03-3000um需选型)

精 确 度：≤±3% 典型值；

重合精度：≤±3% （≥1000粒/mL）；

检测时间：5s~120s；

压力范围：0～0.5MPa（不含减压阀）；0～31.5MPa（含减压阀）；

取样流速：5mL/min～100mL/min；

取样精度：≤±1%；

校准方式：乳胶球定值，可追溯到NIST标准；；

流体温度：0℃～80℃；

接口方式：卡套固定（标配），可定制尺寸和方式；

输出方式：USB、LAN接口；RS232/485串口；其他通讯协议可定制；

报警功能：操作软件或者声光报警功能；

模拟输出：4mA～20mA接口；并带超标报警功能（可定制）；    

报告方法：颗粒数/ml及污染度等级；

输入电压：100V～265V,50Hz～60Hz；

售后服务：普洛帝服务中心/中特计量检测研究院。