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  • 面议
SU5000 日本电子扫描镜SU5000

具体成交价以合同协议为准

2022-01-22
型号
SU5000
深圳市三昊仪器设备有限公司

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产品简介
日本电子扫描镜SU5000
详细信息
日立SU5000高智能多开放式场发射扫描电镜方案
服务电话

*部分:配置(P2
第二部分:技术参数(P3)

*部分:配置报价
序号货号设备名称数量备注
1主机Model SU5000 SEM
SU5000 型场发射扫描电镜主机
Lower Secondary Electron Detector
低位二次电子探测器
100x50mm 5-axis motorized stag
100x50 五轴马达驱动样品台
Objective movable aperture holder: 4 holes with click-stop design(20, 30, 70, 150 µm dia.)
4孔物镜活动光阑杆(孔径20, 30, 70, 150 µm),附带自清洁装置
Rotary pump
机械泵
Turbo Molecular Pump(TMP) 250 L/sx1
分子泵,250 L/s x1
Ion pump: 30 L/s 20 L/s
离子泵:30 L/s 20 L/s
Control System,including PC,Keyboard,Mouse,Rotary Knob
控制单元,包括电脑、键盘、鼠标、多功能旋钮板
EM Wizard
电镜助手功能(高自动化)
Connector for DBC
能谱接口(外扫描控制器)
Auto Standard sample correction
自动标准样品校正
1
2510-9808 SDM with CD-Measurement Function for SU5000 14S
高精度测量软件(离线版,允许10台电脑使用)
1
3511-5739Auto-Transformer for SU5000 15K
变压器, 7kVA
1
4耗材耗材(光阑、导电胶带、泵油等)1
5 空压机1
6国内采购显示器1-
报价:美金




第二部分:技术参数
  • 高自动化场发射扫描电镜技术参数
1. 运行环境:
1.1 房间温度:15 ~ 25℃
1.2 相对湿度:小于60%
1.3 适用电源:单相,220V±10%,50/60Hz,4kVA,要求连续供电
1.4 地线:接地电阻不小于40Ω
2.技术参数
2.1 组成:主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器系统),自动变压器,计算机,标准工具及附件。
2.2 电子枪:肖特基热场发射电子枪引出电压, 2.5kV – 4kV (*小步进10V
2.3 分辨率
2.3.1 SE分辨率 30kV1.2nm
1kV:3.0nm
1kV:2.0nm(减速I
1kV:1.6nm(减速II)
2.4 加速电压:0.5 ~ 30kV (减速下*低电压0.1kV
2.5束流:高、低真空下均大于200nA(高、低真空模式下同时满足,有利于检测能力)
2.6放大倍率
底片倍率:10600,000x;显示器倍率:301,500,000x 1280x960像素);
可同时显示以显示器为准和以底片为准的两种模式的放大倍率
2.7 物镜光阑:4孔可调式,光阑孔径(150/70/30/20um),内置标配加热自清洁装置(以便于增加光阑使用寿命),含位置感应器
2.8 扫描线圈:两级电磁透镜偏转
2.9透镜系统:3级电磁透镜系统
2.10像散矫正单元:八极电磁消像散
2.11抽屉式大开仓结构,样品台安装在仓门上。
2.12样品台驱动:5轴优中心马达驱动样品台。
X±100mmY±50mmZ3-65mm;★ T: -20 to 90 degR: 360deg
2.13 样品大小:200mm(直径),80mm(高度)
2.14 探测器配备独立的二次电子探测器
2.15 图像导航:自动图像导航,且拥有三维图像导航功能
2.16 真空系统:
真空度:10-7Pa (电子枪)7×10-4Pa (样品室)
分子泵(磁悬浮型)250L/s×1
机械泵133L/min×1台;
离子泵30L/s×1,20L/s×1
保护:断电、漏电、真空保护
2.17 仪器标配特殊材质标准样品,具有自动标准样品校准功能。无需工程师维护,便于提高电镜实时精度。
2.18配备高自动化辅助操作软件高级功能::标准模式和高级模式,观察助手模式,像散调节训练模式,操作向导,应用助理,倾斜辅助,样品台记忆和移动,图片导航,操作条件文件保存,放大倍率预设,视频输出。(提高便捷自动化使用功能)
2.19 扫描模式: 至少包含Rapid scanFast ScanSlow scanReduce scanCS scanspot mode
2.20 图像储存:BMPTIFFJPEG640×4801280×9602560×19205120×3480像素
2.21 捕捉的图片可存储在临时图片栏内,可选择单张存储或批量存储,可自动连续命名
2.22 数据记录:放大倍率,加速电压,工作距离,日期,时间,编号,信号类型
2.23 捕捉的图片可存储在临时图片栏内,可选择单张存储或批量存储,可自动连续命名
2.24 自动功能:自动校准,自动亮度对比度,自动对焦,自动消像散和对焦控制,自动开启,自动电子束偏移
2.25 扩展接口:至少为12个,以便于后期扩展功能
2.26 用户可自行完成红烘烤维护和镜筒合轴维护
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