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PIEZOSYSTEM压电多层陶瓷执行器
产品型号:P 16/8
产品介绍:
P系列执行器基于多层技术制成的堆叠式执行器。它们没有机械预载,但仍能承受中等压力。 它们应该仅用于静态应用程序。压电堆栈封装在不锈钢外壳中,顶部和底部带有环氧化物,以消除机械间隙。为了保护陶瓷多层执行器,它们填充有柔性硅橡胶材料。多层叠堆致动器提供亚毫秒级响应和亚纳米级分辨率。
作为选项,这些执行器可提供用于运动控制的应变计传感器。此选项将外径增加 2mm。精度将提高到 <0.5%。
执行器应用螺钉或夹子固定在执行器底板上。在安装和使用过程中,重要的是不要使执行器 受到非轴向力。没有预载的执行器不适合动态应用。
性能特点
运动达 82 µm
亚纳米分辨率
高达 210 N/µm 的高刚度
阻挡力高达 850 N
毫秒上升时间
紧凑的设计
可选功能与配件
• 全桥应变计传感器(外径从 P 8/10 变为 P 80/10 为 14mm)
• 顶板 – 球形碳化钨(零件号 Z-299-65)
尺寸:直径 5mm x 2.5 mm,L +1 mm
• 顶板 – 扁平碳化钨(零件号 Z-299-45)
• 尺寸:直径 5mm x 1.5 mm
• 可应要求提供其他选项
产品应用
• 微定位
• 镜子调整
• 扫描显微镜
• 阀门控制
• 激光调谐
• 半导体
参数: