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具体成交价以合同协议为准
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测量原则 | 探针法 |
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输入 | BFW 无导块系统配有 MarSurf SD 26 驱动装置和/或 PHT 有导块系统配有 MarSurf RD 18 驱动装置 |
测量范围 mm | +/- 250 µm(高达 +/- 750 µm,3x 测杆长度)适用于 BFW 系统 350 µm 适用于 PHT 测头系统 |
过滤器符合 ISO/JIS 标准 | ISO 11562 标准高斯滤波 ISO 16610-21/OSO 16610-31 标准滤波 |
扫描长度(文本) | MarSurf GD 26 / SD 26:自动;0.56 mm*;1.75 mm;5.6 mm;17.5 mm,56 mm, 测量至挡块,可变 * 扫描长度取决于 驱动装置 RD 18:自动;1.75 mm;5.6 mm;17.5 mm |
采样长度数量符合 ISO/JIS | 1 至 50(默认:5) |
测量力 (N) | 0,7 mN |
表面参数 | 超过 80 种 符合 ISO / JIS 或 MOTIF (ISO 12085) 标准的表面参数可用于 R-、P- 和 W 轮廓 |