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电子探针X射线显微分析

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2021-08-18
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光谱仪
产品简介
电子探针X射线显微分析仪仪器名称:电子探针X射线显微分析仪型号:EPMA-1600生产厂家:日本岛津公司仪器简介:日本岛津公司的EPMA-1600型电子探针,由四道谱仪、八块分光晶体组成
详细信息

电子探针X射线显微分析仪

仪器名称:电子探针X射线显微分析仪

号:EPMA-1600

生产厂家:日本岛津公司

仪器简介:日本岛津公EPMA1600型电子探针,由四道谱仪、八块分光晶体组成。此仪器不仅有较高的X射线检出角,同时由于使用全聚焦的X射线分光晶体,能兼顾X射线检测的高灵敏度和高分辨率,并配有高稳定的电子光学系统,真空系统及高精度机械系统以及牛津X-射线电制冷能谱仪,是目前的微区成分定量分析和形貌观察的大型科研仪器之一。

仪器主要特点及技术指标:

l 分析元素范围: 4Be94Pu

l 电子束流稳定性:好于1.5×10-3/H

l 二次电子像分辨率:6nm

l 加速电压:0~30kV

l X射线检出角52.5°

l 放大倍数:50×~300,000×

l 分析速度:自动全元素定性分析时间60s

l 样品尺寸100mm´100mm´50mm

l 样品台最小移动间距为0.01微米,机械系统精密度高

l 可观察二次电子像(SEI),背散射电子像(BEI),吸收电子像,光学显微像,X射线面分布像等。兼顾微区成分定量分析和形貌观察

仪器主要功能及其用途:

l 非破坏分析(分析时,被分析样品不会损坏,可以实现同点重复分析)

l 微米尺度的空间分辨分析

l 轻元素的定量分析

l 元素的面分布分析

l 痕量元素的成分分析

l 精细结构分析
l 适用于材料(陶瓷,合金,半导体材料等)以及矿物、岩石等固体材料的微区化学组成定性和定量分析,微区化学组成线分析,微区化学组成面分析以及材料、矿物和岩石等的微区形貌观察、成分分布图像等,是对试样微区组织结构,表面形貌观察及元素定量分析的效手段。

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