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仪器名称:电子探针X射线显微分析仪 型 号:EPMA-1600 生产厂家:日本岛津公司 仪器简介:日本岛津公司的EPMA-1600型电子探针,由四道谱仪、八块分光晶体组成。此仪器不仅有较高的X射线检出角,同时由于使用全聚焦的X射线分光晶体,能兼顾X射线检测的高灵敏度和高分辨率,并配有高稳定的电子光学系统,真空系统及高精度机械系统以及牛津X-射线电制冷能谱仪,是目前的微区成分定量分析和形貌观察的大型科研仪器之一。 仪器主要特点及技术指标: l 分析元素范围: 4Be~94Pu l 电子束流稳定性:好于1.5×10-3/H l 二次电子像分辨率:6nm l 加速电压:0~30kV l X射线检出角:52.5° l 放大倍数:50×~300,000× l 分析速度:自动全元素定性分析时间≤60s l 样品尺寸: l 样品台最小移动间距为0.01微米,机械系统精密度高 l 可观察二次电子像(SEI),背散射电子像(BEI),吸收电子像,光学显微像,X射线面分布像等。兼顾微区成分定量分析和形貌观察 仪器主要功能及其用途: l 非破坏分析(分析时,被分析样品不会损坏,可以实现同点重复分析) l 微米尺度的空间分辨分析 l 轻元素的定量分析 l 元素的面分布分析 l 痕量元素的成分分析