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参考价:
具体成交价以合同协议为准
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日本科赋乐内抛光系列质量流量控制器
日本KOFLOC5100系列质量流量控制器-内抛光
金属密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
内部抛光Ra≤0.1,杜绝二次污染介质
±15VDC供电性能稳定,0-5V模拟信号更加通用
适用于高真空、半导体以及对管路洁净度高要求场合
日本科赋乐内抛光系列质量流量控制器
性能参数:
量程(N2) | 1SCCM-20SLPM |
精度 | ±1.0%FS |
重复性 | ±0.2%FS |
响应时间 | 1秒以内 |
耐压 | 1.0Mpa |
进口大压力 | O.3Mpa |
动作压差 | 0.05-0.3Mpa |
泄漏率 | 1*10-11pa·m³/s以下 |
内抛光 | Ra≤0.1 |
温度范围 | 5-45℃ |
湿度范围 | 10-90%RH(不能结露) |
材质 | 本体SUS316L |
密封圈SUS316L、PTFE | |
电气接口 | DB9 |
模拟信号 | 0-5V输入/输出 |
供电 | +15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA; |
管路连接 | 标配1/4UJR |
选配1/8UJR | |
重量 | 约1000g |
★使用注意
一:进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用,保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。
二:用肥皂水对管路进行泄漏检测时,只能将肥皂水喷洒在管路接头上,不能喷在仪表或电气插头上。
三:安装前,请将设备管路进行整体吹扫。
四:耐压1.0Mpa,进口大压力5公斤。
五:需要进行零点漂移清零的时候,确认进/出口没流量没压力下 再操作。