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WBMW-DLZ3 任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉-高低温试验箱

具体成交价以合同协议为准

2021-01-30唐山市
型号
WBMW-DLZ3
参数
品牌:其他品牌 适用领域:科研 温度范围:1600℃ 温度波动度:2℃ 温度均匀度:2% 额定电压:220V 产地:国产 加工定制:是
唐山任氏巨源微波仪器有限公司

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微波高温仪器,微波马弗炉,微波管式炉,微波井式炉,微波化学反应器,微波研磨机,微波浇铸机
产品简介
任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉应用:该款具有高电离度、高电子温度和电子密度、适用压强范围宽、无内部电极污染等特点,微波等离子体在材料表面处理、金刚石薄膜制备、化学气相沉积、刻蚀以及CH4转化制氢、长余辉发光材料、陶瓷烧结、碳纳米管修饰[3]、纳米粉体合成、处理水污染等领域有广泛应用。
详细信息

一、任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉应用:该款具有高电离度、高电子温度和电子密度、适用压强范围宽、无内部电极污染等特点,微波等离子体材料表面处理、金刚石薄膜制备、化学气相沉积、刻蚀以及CH4转化制氢、长余辉发光材料、陶瓷烧结碳纳米管修饰[3]、纳米粉体合成、处理水污染等领域有广泛应用

二、产品特点:

1. 垂直反应器的设计可使等离子密度高;对称的微波发生装置,使产生的等离子环境更均匀。
    2. 微波等离子体气相沉积的谐振腔内没有内部电极,可以避免电极放电所产生的污染,而且,它的工作气压范围比较宽,所产生等离子体密度高、区域大,稳定度高,且不与真空器壁接触,从而避免了器壁对薄膜的污染。

 

三、任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉技术参数:

型号/model

WBMW-DLZ3

可加热材料

非易燃易爆的任何材料

微波频率

2.45GHZ±50MHz

加热方式

纯微波加热

射频功率/KW

3  (功率可调)

工作温度/℃

1200

*工作温度/℃

≤1100

温度测试元件

微波场传感器/红外测温可选

控温精度/℃

±2(微波场传感器)

石英管尺寸(外径/内经X长度)/mm

φ102/φ92x1000

真空系统配置(可选)

简单机械泵抽真空和不锈钢法兰;

10-1Pa真空机械泵及真空计;

10-2Pa真空机械泵、扩散泵及真空计;

10-3Pa真空机械泵、分子泵及真空计;

升温速率(标配)

0~1000℃/min可任意设定,可编程、分段加热

外型尺寸(长x宽x高)/mm

1000´750´1830

微波泄漏量/  mw/cm2

≤0.4

提供相关配件

防护 手套×1中文说明书×1

保质期

整机免费保修1

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产品参数

品牌 其他品牌
适用领域 科研
温度范围 1600℃
温度波动度 2℃
温度均匀度 2%
额定电压 220V
产地 国产
加工定制
提示

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