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一、任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉应用:该款具有高电离度、高电子温度和电子密度、适用压强范围宽、无内部电极污染等特点,微波等离子体在材料表面处理、金刚石薄膜制备、化学气相沉积、刻蚀以及CH4转化制氢、长余辉发光材料、陶瓷烧结、碳纳米管修饰[3]、纳米粉体合成、处理水污染等领域有广泛应用。
二、产品特点:
1. 垂直反应器的设计可使等离子密度高;对称的微波发生装置,使产生的等离子场环境更均匀。
2. 微波等离子体气相沉积炉的谐振腔内没有内部电极,可以避免电极放电所产生的污染,而且,它的工作气压范围比较宽,所产生等离子体密度高、区域大,稳定度高,且不与真空器壁接触,从而避免了器壁对薄膜的污染。
三、任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉技术参数:
型号/model | WBMW-DLZ3 |
可加热材料 | 非易燃易爆的任何材料 |
微波频率 | 2.45GHZ±50MHz |
加热方式 | 纯微波加热 |
射频功率/KW | 3 (功率可调) |
工作温度/℃ | 1200 |
*工作温度/℃ | ≤1100 |
温度测试元件 | 微波场传感器/红外测温可选 |
控温精度/℃ | ±2(微波场传感器) |
石英管尺寸(外径/内经X长度)/mm | φ102/φ92x1000 |
真空系统配置(可选) | 简单机械泵抽真空和不锈钢法兰; 10-1Pa真空机械泵及真空计; 10-2Pa真空机械泵、扩散泵及真空计; 10-3Pa真空机械泵、分子泵及真空计; |
升温速率(标配) | 0~1000℃/min可任意设定,可编程、分段加热 |
外型尺寸(长x宽x高)/mm | 1000´750´1830 |
微波泄漏量/ mw/cm2 | ≤0.4 |
提供相关配件 | 防护 手套×1、中文说明书×1 |
保质期 | 整机免费保修1年 |