小口径热式气体质量流量计采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS气体质量流量计和流量控制器，靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需温度压力补偿；主要用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制，能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。

小口径热式气体质量流量计技术参数：

·口径：DN3、DN6、DN8、DN10
·DN3流量范围：50、100、300、500、1000sccm
·DN6—DN10流量范围：1、2、5、10、20、30、40、50SLM
 流量测量准确度：±1.5%FS，2.5%FS.
·测量介质温度：0~50℃;
·工作压力范围：0.3MPa，0.6MPa．1.0MPa
·供电电源：24VDC±10%;
·输出信号：4-20mA，RS485通讯；
·环境温度：0～55℃;
·可带两点报警；
·流量显示位数：瞬时流量为三位，累积流量10位；
·提供软件进行20台以内流量计集中控制、修改参数。