箱体

描述

材料：不锈钢1.4301 (SUS type 304), 厚度 3 mm

箱体净尺寸: 1200mm(L) x 750mm(W) x 900mm(H)

总尺寸：1990mm(L) x975m(W) x2500mm(H)

体积

0.8 m³（箱体净空间）

前窗

面板：8 mm厚安全钢化玻璃  或 10 mm厚度聚碳酸酯 (可供选择)

尺寸：1123mm(L) x 839mm(H)

手套口

硬铝合金材质或聚甲醛材料 (可供选择)

口径 220 mm, O型圈密封

手套

材料：丁基橡胶

厚度： 0.4 mm 或 0.8mm(可供选择)

过滤器

出口和入口过滤器，过滤<0.3μm

照明

LED照明位于前窗顶上部

泄漏率

检漏依据 ISO 10648-2 ：1994 / EJ/T 1096-1999《密封箱室——第二部分：密封性分级以及相关的检验方法》中的含氧法和压力变化法对箱体进行检测，按照一级密封性< 0.05 vol%/h的标准进行终验收测试。

GP20气体净化系统

描述

自动去除 H2O 和 O2

单净化柱系统，自动再生（可选GP200双净化柱）

密闭的气体循环管路

使用电压

AC 230 V / 50-60 Hz, 10 A 或AC 115 V / 50-60 Hz, 20 A （可供选择）

工作气体

工作气：N2、Ar 、He（纯度≥99.999%）

再生气：H2占5%—10%，其余的为工作气（纯度≥99.999%）

真空泵

规格：旋片真空泵,  配带油雾过滤器, 带气镇控制

流量：12 m³/h (7 cfm), 双基片,真空度< 2 x 10-3 mbar  或干泵(可供选择)

循环单元

无油高速风机

风量：80 m³/h

阀门

KF40 高真空阀门

泄漏率

检漏依据 ISO 10648-2 ：1994 / EJ/T 1096-1999《密封箱室——第二部分：密封性分级以及相关的检验方法》中的含氧法和压力变化法对箱体进行检测，按照1级密封性< 0.05 vol%/h的标准进行终验收测试。

控制柜尺寸

600mm（L） x 800mm（D） x 870mm（H）

过渡舱

大过渡舱

材料

不锈钢 type 304 (1.4301), 厚度 3 mm

尺寸

φ360mmx600mm(L) 或φ390mmx600mm(L)(可供选择)

真空度

< 1 x 10-2 mbar

小过渡舱

材料

不锈钢 type 304 (1.4301), 厚度 2 mm

尺寸

φ150mm x 330mm(L)

真空度

< 1 x 10-2 mbar

清洗系统

描述

设置好相应时间和压力，系统可以对箱体自动进行气体置换。

分析仪

氧气分析仪

尺寸

205 mm（L） x 80 mm（W） x 60 mm（H）

测量范围

0-1000 ppm

其他氧分析仪

GE oxy.IQ™ Oxygen Transmitter

水分分析仪

尺寸

205 mm（L） x 80 mm（W） x 60 mm（H）

测量范围

0-500 ppm

其他水分析仪

GE VeriDri™ Dew-Point Transmitter

溶剂净化系统

描述

材料: 不锈钢1.4301 (US type 304), 厚度 3 mm

内部尺寸: 220mm(Φ) x 450mm(H)

优质活性炭

百级层流净化系统

描述

风机从FFU项部(闭合回路)，将气体吸入并经初、高效过滤器过滤后的洁净气体送回箱体；

R404环保型制冷剂，*

特点

优异的气体均匀分布性能

风速可以调节

过滤效率99.999%

箱体内

终技术指标

标况下箱体内水含量

(注：标准情况为一个大气压，温度20℃)

≤1ppm

标况下箱体内氧含量

(注：标准情况为一个大气压，温度20℃)

≤1ppm

箱体泄漏率

(注：标准情况为一个大气压，温度20℃)

≤0.05vol%/h

箱体内气体洁净度

百级

所有计量类仪表仪器均可提供第三方检测证书(费用另行收取

其他说明

产品认证

ISO9001认证、CE认证、UL认证(如需相关认证，需另外收费)

质保期

一年质保期，终身维修

应用注意事项

详情参阅说明书危险、警告、注意等条款

包装尺寸(W×D×H)

重量