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  • 1920000
  • ≥1台
上海伯东代理射频离子源 RFICP 380

具体成交价以合同协议为准

2023-01-11上海市
型号
参数
品牌:其他品牌 产地:进口 加工定制:否
伯东企业(上海)有限公司

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质谱仪,氦质谱检漏仪,分子泵,真空计
产品简介
上海伯东美国考夫曼离子源 RFICP 380 特性:放电腔 Discharge Chamber, 无需电离灯丝, 通过射频技术提供高密度离子, 工艺时间更长.2kW & 1.8 MHz, 射频自动匹配
详细信息

价格电议

考夫曼离子源 RFICP 380 特性:

1. 放电腔 Discharge Chamber, 无需电离灯丝, 通过射频技术提供高密度离子, 工艺时间更长.

2kW & 1.8 MHz, 射频自动匹配

2. 离子源结构模块化设计

3. 自动调节技术保障栅极的使用寿命和可重复的工艺运行

4. 栅极材质钼和石墨,坚固耐用

5. 中和器 Neutralizer, 测量和控制电子发射,确保电荷中性

6. 通气 Ar, O2, N2, others

7. 离子束流: 电流: > 500毫安, 能量 100-1200eV


1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产

考夫曼离子源 Gridded 和霍尔离子源 Gridless. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射沉积 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源 (离子枪) 中国总代理.

考夫曼离子源 RFICP 380 技术参数

型号

RFICP 380

放电腔 Discharge

射频

大功率

>1kW

大离子束电流

>1000mA

电压

100-1500V

气体

惰性和活性

流量

5-50sccm

真空度

< 0.5mTorr

离子光学(自适应)

OptiBeamTM

离子束直径@ grids

38cm Φ (maximum)

栅极材质

离子束形状

平行. 聚焦, 发散

中和器

LFN 2000

高度

15” (38.1cm)

直径

22.9” (58.2cm)

Feedthrough direct

12”CF


若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               中国台湾伯东 : 王小姐



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产品参数

品牌 其他品牌
产地 进口
加工定制
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