电子气体质量流量控制器可控制流速在10 SCCM到1000 SLM范围内的多种气体的流量。利用通过加热管进行的热传递直接测量气体质量流量，并且无需对（规定限值以内）的气体温度或压力变动进行补偿。该产品提供用于测量普通气体流量的经济型铝质／铜质结构，以及用于有更高耐腐蚀要求应用场合的316不锈钢结构。不带一体式显示屏的控制器具有0 ~ 5 Vdc和4 ~ 20 mA模拟输出，以便进行远程监测；
500系列控制器兼具一体式3½位数字显示屏和模拟输出。显示屏可倾斜90度，查看读数时很方便，显示屏还经过校准，可直接显示以SCCM或SLM为单位的氮气流速，可以通过专门订购来获得其它气体校准。
400质量流量控制器带有内置式电磁阀，无论入口或出口压力如何变化，都能保持稳定的流速。设定值可通过电位器（通过壳体上的窗口可调整该电位器）本地控制，或者可以通过0 ~ 5 Vdc或4 ~ 20 mA（现场可选）模拟信号远程控制。

  电子气体质量流量控制器

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