ASUMI技研株式会社扫描准分子发射器

扫描准分子发射器

将以172nm为主波长的准分子照射单元和扫描用载物台、臭氧分解装置一体化，仅用100V的电源就能简单且安全地进行准分子表面改性实验的装置。 【特征】扫描用

可通过扫描用载物台进行比以往更大面积的处理。

臭氧分解装置一体型，无需排气设备等

Ø 扫描准分子发射器

型号 ASM86 Excimer

发光波长 172纳米

处理对象物 W86mm×D120mm以下、厚度40mm以下

照射距离调整 带调整用实验室千斤顶(照射距离0~40mm可变)

外形尺寸 本体: ( W)432mm×(D)510mm×(H)520.5mm (突起物除外)

概算重量 约25kg (本体20kg、照射单元4.8kg )

本体材质 SUS304/A5052P/SPCC

Ø 照射单元

灯泡制造商 滨松光子学株式会社制

型号 FLAT EXCIMER EX-86U L13129

照射强度 65mW/c㎡

照射面尺寸 86mm×40mm

准分子有效照射距离5mm以内推荐

冷却方式 强制空冷

Ø 输送部

桌面材质 A5052P (带定位用狭缝)

遮光罩 PVC (防紫外线黄色)

处理速度 0.1mm/sec~120mm/sec

处理可动范围 240毫米

Ø 其他

触摸屏 4英寸单色触摸屏

食谱数 20方法(处理速度、可设定照射时间)

监视器功能 当前速度、当前位置、剩馀时间带显示功能

排臭设备 内置臭氧催化剂(风扇强制排气)

实用程序 AC100V 50/60Hz 400VA

ASUMI技研株式会社扫描准分子发射器

SEDECO精电舍电子工业，METROL美德龙，SEIWA星和电机，TAIWA泰和电器，TAKEUCHIDENSHI竹中电子工业，TOWASEIDEN东和制电工业，NANABOSHI七星科学研究所，NITO日东工业，NKK日本开闭路器工业，JAE日本航空电子，MIRAI未来工业，CHEMI日本ケミコン株式会社，PATLITE株式会社 パトライト，ＤＤＫ电子工业株式会社，TERASAKI寺崎电气产业株式会社，TOYOZUMI丰澄电源机器株式会社，MEIKO明工社，NICECUT富士元工业，DAITOTUSIN大东通信机株式会社，JST日本圧着端子制造株式会社，NDK日本电波工业株式会社

HAMAI浜井电球工业株式会社，DAIDOTANSHI大同端子制造，DAIWADENGYO大和电业，TAKASAGO高砂制作所，CEC中央电子，DENKENSEIKI电研精机研究所，DENRYO电菱，SENSOR东京感应，MACOME马控美研究所，DAIKIDENKI大喜电器株式会社，株式会社NA磁器开关，TOWASEIDEN东和制电工业，NITO日东工业，SPACIOスペーシ株式会社，OGURACLUTCH小倉クラッチ

TAIYO大洋制器工业，MIZUMOTO水本机械，KOIKESANSO小池酸素工业，OSAKASEIKAN大阪制罐，OHオーエッチ工业,PLAS-TECHプラス・テク株式会社，ASADENSHI麻电子工业，HOKKOKASEI北港化成，株式会社AOI,SUKEGAWA助川电气工业,SUMITA住田光学玻璃,株式会社スリーエス3S