高纯气露点变送器Pura在很多超纯气应用，诸如半导体工业中，气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作至关重要。一直以来，对湿气的持续追踪测量都是个难点，需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。然而密析尔仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案，用来在线测量露点值，下限低至惊人的-120°C (相当于不到 1 ppbV)。

高纯气露点变送器Pura是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的专业经验，结合标准工业化的材料和制造流程，打造出的适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。

亮点

• 测量下限 -120°C 露点 (1 ppbV)
• 测量稳定，重复性好
• 高度集成的采样装置
• 模拟和数字输出
• 安装简便
• VCR 过程接口
• 设计紧凑小巧
• 显示/报警单元可选

• 传感器
  传感器类型	密析尔陶瓷湿度传感器
  量程	-120 ~ -40°C 露点 (校验到 -100 ~ -40°C)
  精度	±1°C   -40 ~ -60°C; ±2°C   -61 ~ -100°C; ±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)
  分辨率	0.1°C        -40 ~ -79.9°C; 1°C           -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C
  压力	低 10-9 torr; 大 24 MPa
  气体流量	1 ~ 5 Nl/min
  电气
  电源	通常 24 V DC, 低10 V ~ 28 V , 大电流 25 mA
  输出	4-20 mA 输出, 对应范围可由软件调整, 调整量程从 1 ~ 80°C (标配提供) 大负载 = 100 Ω + 50 Ω x (V 电源 -8)
  输出出错状态	标准输出出错信息如下: 23 mA = 传感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限