膜厚范围

*层（zui上层）

第二层

第三层

小于0.5 µm （20 µin）

 1 µin 或更好

 2 µin 或更好

 3 µin 或更好

大于0.5 µm

 5% 或更好

 10% 或更好

 15% 或更好

含量

*层

第二层

1--99 wt %

 3 wt % 或更好

项目名称

具体描述

X射线激发系统

·垂直下照式X射线光学系统

·50W（50kV，1.0mA）空冷式微聚焦型钨W靶X射线管

准直器系统

·单准直器组件；

·多准直器自动控制组件：zui多可同时装配6种规格的准直器

·园形、正方形、矩形和多种规格尺寸准直器任选（红色为常用的）：

测量斑点尺寸

在12.7mm聚焦距离时，zui小测量斑点尺寸为：0.078 x 0.055 mm（使用0.025 x 0.05 mm<即1x2mil>准直器）

样品室

开槽式样品室，测量大型平板样品，如尺寸大于仪器宽度的线路板

样    品    台

固定样品台

·Z轴自动控制，移动行程：43mm （1.7"），XY轴手动控制

·zui大样品高度33mm

·仪器外形尺寸（宽×深×高）：407×770×305mm（16×30.3×12"）

加深样品台

·Z轴自动控制，移动行程：43mm （1.7"），XY轴手动控制

·zui大样品高度160mm

·样品仓有4个位置卡槽，相邻卡槽垂直间距25.4mm，样品台支架可放置在不同位置的卡槽上，可测不同高度的样品

·样品仓内部尺寸（宽×深×高）：279×508×152mm（11×20×6”）

·仪器外形尺寸（宽×深×高）：407×770×400mm（16×30.3×15.7"）

·自定义样品台：依据客户要求提供更高的样品台，满足高度＞160mm的样品测量，仓内设置多个位置卡槽，相邻卡槽垂直间距25.4mm

自动样品台

·Z轴自动控制，移动行程：43mm（1.7"）

·XY轴自动控制，样品台移动行程：178×178mm（7x7”）

·zui大样品高度33mm

·样品台尺寸（宽×深）：610×560mm（24×22”）

·仪器外形尺寸（宽×深×高）：610×1037×375mm（24×40.8×14.8"）

·可提供对样品的自动和编程控制，多点测量

·鼠标控制样品台移动，精确地定位样品测量点

镭射聚焦

·镭射用于自动精确定位X射线光管/探测器与样品到*测试距离

·单击鼠标，Z轴自动扫描

·Z轴自动聚焦到焦距12.7mm，同时将样品图像定焦（显示在屏幕上）

·避免了人为操作误差

样品观察系统

·高分辨率彩色CCD观察系统，标准光学放大倍数为30倍

·可选50倍和100倍观察系统

结果输出

·测量数据报告可直接打印或一键导出到PDF文件、Excel文件，为质量管理保留宝贵的原始资料

·测量数据报告可包含测量数据、测量样品图像、各种统计分析图表、自定义的报告模板（系统预置模板、含用户信息的自制模板）

计算机系统配置

·IBM计算机

·佳能彩色喷墨打印机

分析应用软件

·操作系统：Windows XP中文平台

·分析软件包：SmartLink FP软件包

系统安全性

·Z轴保护传感器

·安全防射线光闸

·样品室门开闭传感器

·X射线锁

·X射线警示灯

·紧急停止按钮

·前面板安全钮和后面板安全锁

·多用户密码保护，只向日常操作员设定有限的*，操作界面简单，功能受限

·主管人员可进行系统维护

·系统自动生成操作员的使用记录

·开启“自动锁定”功能可以防止未*人员使用；测量结束后，超过预设的时*，软件锁定并要求输入密码

测量自动化功能

鼠标激活测量模式：“Point and Shoot”

多点自动测量模式：随机模式、线性模式、梯度模式、扫描模式、重复测量模式

测量位置预览功能

激光对焦和自动对焦功能

统计计算功能

平均值、标准偏差、相对标准偏差、zui大值、zui小值、数据变动范围、数据编号、CP、CPK、控制上限图、控制下限图

任选软件：统计报告编辑器允许用户自定义多媒体报告书

数据分组、X-bar/R图表、直方图

数据库存储功能