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200/1200型复合质谱分子泵-柱后衍生装置
具体成交价以合同协议为准
2019-02-10上海市
- 型号
- 参数
- 产地:国产 加工定制:是
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产品简介
200/1200型复合质谱分子泵光学玻璃镀膜工业；薄膜工艺；真空冶金；照明工业排气
详细信息
200/1200型复合质谱分子泵技术参数表
型号 | 200/1200 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
抽气速率（l/s） | 1200L/S | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
压缩比N2 | >109 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
压缩比H2 | >8×104 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
极限压强(Pa) | <2×10-8 | <1×10-7 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
高真空法兰 | LF200 | CF200 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
排气口法兰 | KF40 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
启动加速时（min） | <5min | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
电机转速（n/min） | 24000n/min | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
小不平衡（mg） | 15mg | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
建议采用前级泵 | 机械泵8～15L/S | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
充油量（ml） | / | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
安装方式 | 垂直±5° | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
冷却方式 | 水冷或风冷 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
冷却水温度 | <20℃ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
环境使用温度（℃） | 风冷<32℃ 水冷<40℃ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
泵体烘烤温度（℃） | <100℃ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
泵重量（kg） | 36kg | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
外形尺寸（mm） | Φ320×428 200/1200型复合质谱分子泵技术参数表
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