初级会员第 12 年生产厂家
参考价:
具体成交价以合同协议为准
初级会员第 12 年生产厂家
仪器特点:
稀释气质量流量计可控制到0-10SLM;
源气质量流量计可控制到0-100SCCM;
4路校准气入口和1路吹扫口;
1路稀释气入口,5路输出口和1路排空口;
55个按键薄膜键盘;
24位数字输入/输出,
2路串行通讯输出,RS232输出;
大而明亮的彩色显示器;
外部PC键盘接入端口;
并行打印端口;
空气源控制端口。
性能参数:
稀释入口:1路标准;
源气入口:4路标准,1路吹扫;
稀释流量:0-10SLM(0-20SLM可选);
源气流量:0-100SCCM/0-10000SCCM;
流量精度:≤±1%FS;
流量重复:≤±0.15%FS;
线 性:≤±0.5%FS;
入口压力:20-35 PSIG;
内置臭氧发生器参数:
输出:5SLPM下0.05-1.5ppm;
精度:1%SP或5SLPM下2ppb;
流量:100±1 SCCM;
紫外灯温度:50±0.1℃。
内置紫外吸收光度计参数:
量程:0-0.5,1.0,2.0ppm;
线性:±1ppb或±1%FS;
精度:±1ppb;
零点漂移:<±1ppb/24小时或30天;
流速:1.0 LPM;
模拟输出:0-0.1/1/5V。
内置稀释炉参数:
材质:玻璃或特氟龙;
尺寸:1个稀释管;
可调温度:高于环境温度5度到65度;
温度精度:<±0.1℃;
操作:55个按键,键盘或串行端口;
校准定义:20个工厂定义流路;
校准类型:气体稀释,臭氧,GPT;
气体定义:2个稀释气,20个源气;
自动校准:20个程序驱动定时,
7天事件,用户可自定义;