大负载型压电纳米偏转镜采用压电陶瓷驱动的二维纳米级精密光束压电偏摆镜，压电偏转镜内部使用无回差柔性铰链并联导向结构，压电偏转镜采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，紧凑的差分并联结构柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。

大负载型压电纳米偏转镜产品特性
1.采用高性能的压电陶瓷驱动;
2.具有开环和闭环两种规格型号;
3.采用数控、线切割等加工工艺，严格保证构结精度;
4.采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构；
5.采用*的表面处理工艺，提高了适应不同工作环境的能力；
6.超高性能的开/闭环扫描平台。

技术参数;

应用
      • 光纤端面检测           • 光纤对接             • 硬盘测试            • 电化学加工            • 3D锡膏检测

上海纳动纳米位移技术有限公司（简称“纳动纳米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河泾新兴技术开发区，是一家专业集精密机械、精密驱动、精密传感、精密控制、精密测量、精密光学等各领域的技术于一体的*，专注于超精密纳米级定位及运动控制技术与产品的开发，并致力于创新开发压电微米定位、压电纳米定位、压电定位控制及测量等设备提供系统的技术解决方案，满足于国内外市场对超精密纳米级定位及运动控制技术需求的专业研发制造商。

上海纳动纳米位移技术有限贵公司自主研发的产品涵盖压电陶瓷元件、叠堆压电陶瓷、封装型压电陶瓷/促动器、纳米级精密定位台/扫描台、压电纳米定位平移台/升降台/偏摆台/旋转台、纳米级光束偏转镜、纳米级显微扫描平台、纳米级物镜聚焦/扫描器、纳米级红外微扫描器、压电微操作钳、压电微分头、压电马达/电机、压电螺旋促动器、压电点胶阀、压电机床微进给平台、六轴并联微位移定位系统、高精度位移传感器、压电陶瓷驱动/控制器、高精度微位移测量系统等系列产品。

压电Tip / Tilt平台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构，补偿量小，确保了摆镜的运动精度和超高的稳定性。

平台采用紧凑的差分并联结构设计且内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。

紧凑型设计，可更好的集成于光学系统中。内部有一个或多个压电陶瓷，由压电陶瓷产生单轴或者多轴的运动。纳动设计和制造的纳米位移台使用柔性铰链技术将运动装置连接到固定基座上。

纳米位移台内置高精密传感器，闭环控制时，传感器技术在保证线性度的前提下，可以实现纳米级别、亚纳米级别的分辨率。