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P-18系列 芯明天放大机构式压电扫描台
具体成交价以合同协议为准
2021-03-23哈尔滨市
- 型号
- P-18系列
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产品简介
芯明天放大机构式压电扫描台 P-18压电扫描台为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现X、XY、XYZ大370μm 的高速扫描，大通光孔径为Ø35mm，多种位移行程及规格型号可供选择，适用于大行程多维扫描等应用。
详细信息
芯明天放大机构式压电扫描台 P-18压电扫描台为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现X、XY、XYZ大370μm 的高速扫描，大通光孔径为Ø35mm，多种位移行程及规格型号可供选择，适用于大行程多维扫描等应用。
芯明天放大机构式压电扫描台P-18压电扫描台特性
• 大位移370μm
• 大承载3.5kg
• 通孔直径：Ø35mm
• 闭环重复定位精度高 • 响应速度快
1~3维扫描台
P18系列压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式，可以 满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。
大位移、大承载、高刚度、高频响
P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动，可以 实现大370μm的扫描范围，运动直线性好，可选择闭环版 本获得优异的线性度与重复定位精度。
P18采用*的结构设计，具有大刚度、大出力、大承 载等特点，大承载达3.5kg，空载谐振频率达600Hz，配 套芯明天大功率控制器响应时间可达5ms，是精密加 工、半导体制造、扫描显微等应用。
P-18压电扫描台典型应用
• 图像处理与稳定 • 扫描显微
• 干涉/计量 • 表面检测
• 半导体测量 • 光学计量
应用实例-纳米光刻
在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动，从而优化镜片读取的信息。
芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻实验。
P-18压电扫描台技术参数：
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