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1、X向横梁:采用精密斜梁技术。2、Y向导轨:采用*的直接加工在工作台上的整体下燕尾槽定位结构。3、导轨方式:采用自洁式预载荷高精度空气轴承组成的四面环抱式静压气浮导轨。4、驱动系统:采用本产高性能DC直流伺服电机、柔同步齿形带传动装置,各轴均有限位和电子控制,传动更快捷、运动性能更佳。5、Z向主轴:可调节的气动平衡装置,提高了Z轴的位精度6、 控制系统:采用进口的双计算机三座标控制系统7、 机器系统:采用计算机辅助3D误差修正技术(CAA),保证系统的*的稳定性和高精度。8、 测量软件:采用功能强大的3D-DMIS测量软件包,具有完善的测量功能和联机功能。
规格
测量范围(㎜)
外形尺寸(㎜)
测量精度
zui 大载 重( Kg)
整机重量(Kg)
X
Y
Z
空间示值误差
MPE E (μm)
探测误差
MPEP(μm)
CMFH 575
500
700
1150
1320
2570
2.2 ﹢ 3L / 1000
2.5
1500
CMFH 8107
800
1000
1450
1900
3000
2.5 ﹢ 3L / 1000
2.8
2400
CMFH8157
1200
CMFH10128
1650
2100
3250
3.0 ﹢ 3L / 1000
3.5
2900
CMFH10158
1350
3300
CMFH10208
2000
4200
CMFH12158
1850
3.8 ﹢ L / 250
4.2
1400
3800
CMFH12208
1600
4500
CMFH101510
3700
3500
CMFH102010
4300
注:L :单位为 mm E :单位为 μm
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