国内12英寸先进传感器研发中试线成功通线_传感器

国内12英寸先进传感器研发中试线成功通线

2021/7/1 14:59:54 13139: 来源：仪表网

摘要：6月30日，由国家智能传感器创新中心(简称“创新中心”)建设的国内首条12英寸先进传感器中试线成功通线。

　　【仪表网仪表上游】导读：6月30日，由国家智能传感器创新中心(简称“创新中心”)建设的国内首条12英寸先进传感器中试线成功通线。

　　传感器是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。

　　在信息时代，传感器作为海量数据接收和传递信息的入口，是万物互联的重要基础，同时随着近年来物联网的迅速发展，全球进入智能时代，智能传感器在移动终端、智能硬件、智能制造、汽车电子、消费电子等领域具有广阔的应用前景。

　　据悉，国家智能传感器创新中心，在工业和信息化部的指导下，于2018年6月成立，致力于先进传感器技术创新，以关键共性技术的研发和中试为目标，联合传感器上下游及产业链企业开展共性技术研发，专注传感器设计集成技术、先进制造及封测工艺，布局传感器新材料、新工艺、新器件和物联网应用方案等领域，形成“产学研用”协同创新机制，打造智能传感器创新中心。

　　创新中心已建成智能传感器公共服务平台，测试服务能力主要包括MEMS加速度、MEMS陀螺仪、压力和红外等传感器的测试标定、可靠性测试、ESD测试、产品失效分析、器件工艺分析等多方面功能。其中，测试标定服务以面向消费级和汽车级芯片为主，已引进设备包括加速度/陀螺仪和压力传感器测试标定系统、高低温环境类试验箱、示波器、分析仪、信号发生器等检测设备。

　　6月30日，由国家智能传感器创新中心(简称“创新中心”)建设的国内首条12英寸先进传感器中试线成功通线。该中试线以国产设备为主，具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力，同时为国产装备提供验证平台，加速先进传感器产业链国产化，实现自主可控。

　　面向新兴技术发展和市场应用需求，创新中心将在12英寸中试线持续开发新材料、新工艺、新器件和新集成等关键共性技术，重点突破光学、声学、力学、生物等先进传感器的核心工艺，并推动相关产品及应用的产业化。

　　12英寸中试线位于上海智能传感器产业园内，产业园以智能传感器为核心，以创新平台和企业为支撑，伴有精准的政策助力，发展传感器特色工艺，积极培育和引进领先的智能传感器产业链企业，促进产业集聚和协同发展，力争将上海嘉定打造成国内传感器领域产业高地。