《光谱共焦传感器校准规范》征求意见
- 2021/6/16 8:31:21 27791
- 来源：仪表网
【仪表网 仪表标准】6月15日，全国几何量工程参量计量技术委员会发布了《光谱共焦传感器校准规范》征求意见稿，现向各位委员及相关专家征集意见。
光谱共焦传感器是一种通过光学色散原理建立距离与波长间的对应关系，利用光谱仪解码光谱信息，从而获得位置信息的装置。作为一种光学位移传感器，主要用于表面形貌、薄膜厚度及位移的测量，在微电子、半导体、液晶平板等领域中具有广泛的应用。
精密加工与先进制造中，位移传感器技术作为产品质量检测控制的核心部件，其测量精度制约最终产品的质量，光谱共焦传感器作为一种新型位移传感器，具有横向分辨力高、非接触、高精度、使用方便、适应性好的特点，不仅可应用于常规材料工件的表面定位和位移测量，更可适合于接触易损易变形、微小零部件、液晶显示屏等柔性材料的测量应用。作为一种非接触高分辨的位移传感器，广泛应用于LED、MEMS、PCB、镜片、手机、薄膜等各种元器件的制造和测量中。
制约位移传感器测量精度的主要因素是其自身存在的各种误差，如光学透镜、电信号处理器、安装误差及软件算法处理精度等。因此，在利用光谱共焦位移传感器进行位移测量前，为了保证其能够提供足够的测量精度，应对光谱共焦位移传感器进行校准。误差校准作为光谱共焦位移传感器进行量值溯源的核心环节，是保证光谱共焦位移传感器使用精度的手段。
对光谱共焦位移传感器的校准工作主要集中在重复性、线性误差。对于光谱共焦传感器的校准，目前还没有合适的技术规范可供参考。因此，制定光谱共焦传感器校准规范，是检验和判断光谱共焦传感器技术性能最重要的方法，是光谱共焦位移传感器量值溯源的需要，更是光谱共焦位移传感器量值准确统一的保证。
本规范依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2010《通用计量术语及定义》和JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》规定的规则编写。
本规范参考了ISO25178-602 Geometrical product specifications(GPS)-Surface texture:Areal- Part 602:Nominal characteristics of non-contact(confocal chromatic prob) instruments、JJF1663-2017《激光测微仪校准规范》、JJF 1305-2011《线位移传感器校准规范》的相关内容。
本规范引用了下列文件：JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》；JJF1001-2010《通用计量术语及定义》；JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》；ISO25178-602 Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal- Part 602: Nominal characteristics of non-contact (confocal chromatic probe) instruments。使用本规范时，应注意使用上述引用文献的现行有效版本。
本规范的主要内容包括：封面，扉页，目录，引言，范围，引用文件，术语和计量单位，概述，计量特性，校准条件，校准项目和校准方法，校准结果表达，复校时间间隔，附录(校准记录参考格式，校准证书内页参考格式，测量结果不确定度评定示例)。
本校准规范适用于测量范围至100mm、分辨力优于10μm的光谱共焦传感器的校准。
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