英国诺丁汉大学发表虚拟相干扫描干涉仪的工作
- 2021/3/5 16:50:57 21930
- 来源：贤集网
【仪表网 仪表产业】近日，英国诺丁汉大学的制造计量团队(MMT)已发表了有关开发用于相干扫描干涉仪的虚拟仪器的工作。扫描干涉仪，是使法布里-珀罗标准具(见法布里-珀罗干涉仪)两反射面间的光程连续地改变(扫描)的仪器。
对于具有复杂形貌的表面(例如，自由形式和仿生人造表面)的光学测量，不确定度评估是工业计量能力中的一个未解决的问题。一种不确定性评估的有前途的方法是使用“虚拟仪器”-特定真实仪器的数字孪生。这种方法已成功用于在接触坐标计量世界中提供不确定性评估，但是虚拟仪器在光学表面计量的背景下尚不可用。开发的软件是第一款用于表面测量的虚拟相干扫描干涉仪(VCSI)。VCSI由源自第一原理的物理模型完全提供动力，并为使用实际仪器获得的具有复杂形貌的表面提供了确定的测量结果。
虚拟仪器的主要功能是特定于任务的不确定性评估；它还可以用于预测仪器的响应和测量结果，以便评估特定表面的仪器的可行性，找到的仪器设置，增进对测量过程的了解并测试新的仪器配置。
该软件是由诺丁汉大学的Rong Su博士开发的。该开发得到了工程和物理科学研究委员会的支持[授权号为EP / M008983 / 1；EP / R028826 / 1]。该软件可以不受任何非营利性科学研究的限制而使用。该软件是出于研究目的而开发的，但是MMT对任何形式的合作开放以进一步开发虚拟仪器技术。
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