“快速检测电子气中痕量杂质的检测方法研究”通过验收
- 2020/11/5 11:12:52 16055
- 来源：上海市计量测试技术研究院
【仪表网 仪表研发】2020年10月27日，上海市市场监督管理局组织召开了市局科技项目“基于多维色谱技术快速检测电子气中痕量杂质的检测方法研究”(项目编号：2018-18)验收会。验收专家组听取了项目组的汇报，审阅了项目组提供的验收材料，经充分讨论，认为该项目已完成计划任务，达到了规定的考核指标，一致同意该项目通过验收。
该项目针对4种典型电子工业用气体四氟化碳、八氟丙烷、六氟化硫和氢气，应用多维色谱系统，配合反吹、中心切割等技术，建立了一次性检测其中8种杂质氢、氧、氮、氩、甲烷、一氧化碳、二氧化碳、氧化亚氮的分析方法。结果重复性好，检测效率高，检出限远优于市场检测需求，具有很好的经济效益和社会效益。基于项目研究内容，发表相关学术论文2篇，完成团体标准送审稿1项，撰写电子气痕量杂质检测方法通则的操作规范1份。
项目成果项目成果为我国半导体、光电子信息产业用的关键基础材料电子气的品质检验提供技术支持，助力IC产业蓬勃发展。
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