《相移式激光平面干涉仪校准规范》征求意见
- 2020/7/27 10:46:19 19222
- 来源：仪表网
相移干涉仪是利用压电陶瓷微位移机构产生相位移动，获得不同相位的系列干涉图像，并按相应数学公式(1)进行处理和分析、计算，得到与理想平面面形偏差的干涉仪。
JJF 1071–2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 1001—2011《通用计量术语及定义》和JJF 1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本校准规范制定的基础性规范基础和依据。
依据JJF 1002-2010《 国家计量检定规程编写规则》，本规范在组织架构上包括引言、范围、引用文件、定义、概述、计量特性、校准条件、校准项目和校准方法、校准结果的表达、复校时间间隔和附录等内容。
本规范为制定。本规范适用于测量光学平面的面形偏差和平面平晶平面度的相移式激光平面干涉仪的校准。(详情请见附件)
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