《微纳米几何量计量器具 溯源系统》征求意见
- 2019/12/25 8:52:09 30247
- 来源：仪表网
微纳米几何量计量器具是指能直接或间接测出微米、纳米尺度几何量的装置、仪器仪表、量具，包括计量基准，计量标准和工作计量器具。
随着科技水平的不断发展和产业结构升级，微纳米几何结构的准确计量已经成为制约国家重大领域关键部件研发、微纳米产业贸易交接的重要前提。目前，我国在微纳米几何量计量方面尚未形成一套完整的、可覆盖全量值范围内溯源的体系，相关规程也属空白。
由于测量原理不同，各类微纳几何结构测量仪器测量结果的一致性难以保障，而产业的飞速发展和大量计量检测需求表明，目前迫切需要建立一套具有完整溯源连条、覆盖多种测量原理的微纳米几何量计量器具作为基准，以满足全国范围内的微纳米几何量值溯源和传递需求。而经过多年积累和努力，中国计量科学研究院在基于各种原理的微纳几何量计量溯源方法、装置、量值传递路线与知识技术等方面的积累日趋完善，其中多项计量能力通过了CMC的同行评审以及CNAS认证，在比对中也取得了较为满意的比对结果，完全具备制定技术规范的能力，建立一套完整的微纳米几何量计量链条的时机已经逐渐成熟，特此提出本法规。
本溯源系统表的编写依据JJF 1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF1104-2003《国家计量溯源系统表编写规则》、JJF1002-2011《国家计量溯源规程编写规则》、JJF1071-2010《 国家计量校准规范编写规则》和JJF 1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》中的要求编写。
本计量法规主要从三个层级规定了微纳米几何量计量器具的溯源及量值传递体系，包括：1.描述微纳米几何量计量基准及相关内容；2.描述微纳米几何量计量标准器具及相关内容；3.描述微纳米几何量工作计量器具及其相关内容。
在此基础上，制定微纳米几何量计量器具溯源系统框图，明确量传关系、涉及的参量、测量范围及不确定度。
本溯源系统表规定了微纳米几何量计量基准器具、计量标准器具和工作计量器具的用途、组成和技术指标。同时规定了从计量基准器具到计量标准器具再向工作计量器具进行量值传递的程序。为本溯源系统适用于微纳米几何量计量器具的溯源, 在开展校准时也可作为量值溯源的依据。
本法规制定后，将满足全国范围内的微纳米几何量值溯源和传递需求，对于规范相关行业中微纳米几何量测量方法及量传体系具有约束作用。本法规既可完善我微纳米几何量量传体系，又可满足相关行业的发展需求，对于提高我国产品质量，提高竞争力具有重要的意义。同时也将为全国范围内其他计量院所带来很好的社会和经济效益。(详情请见附件)
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