《X射线能谱仪校准规范》征求意见稿发布
- 2019/12/24 9:44:53 30126
- 来源：仪表网
【仪表网 仪表标准】全国新材料与纳米计量技术委员会为了使国家计量技术规范能广泛适用和更具可操作性，特向全国有关单位征求《X射线能谱仪校准规范》意见和建议，征求意见截止时间为2019年12月31日。意见反馈邮箱MTC29@nim.ac.cn。
此次征求意见是根据国家市场监督管理总局2018年国家计量技术法规制/修订计划，受全国新材料与纳米计量技术委员会的委托，由山东省计量科学研究院、中国计量科学研究院和苏州市计量测试院负责制定《X射线能谱仪校准规范》技术规范的工作。
X射线能谱仪是对材料微区成分元素种类与含量进行分析的一种仪器。近几十年来, 随着扫描电子显微镜、电子探针仪和透射电子显微镜的普及，这些大型分析仪器也都相应地装配了X射线能谱仪，广泛地应用于冶金学、地质学、物理学、动物学、医药学、环保学等科学领域，分析的对象包括半导体材料、电子封装材料、催化剂、聚合物、建材、生物材料等，是应用广泛的元素分析仪器之一。
本规范主要依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》进行编制，JJF1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》、JJF 1094-2002《测量仪器特性评定》共同构成支撑校准规范制定工作的基础性系列规范。
本规范为制定，主要技术内容和计量特性参考了GB/T 17359-2012《能谱法定量分析》、GB/T 20726《半导体探测器X射线能谱仪通则》、GB/T 21636—2008 微束分析 电子探针显微分析(EPMA)术语和GB/T 25189-2010《微束分析 扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定方法》的部分内容。
由于仪器原理、操作条件和试样标准的不同，本标准仅适用于扫描电子显微镜(SEM)和电子探针仪(EPMA)装配的X射线能谱仪。在校准前，需确保仪器处于正常的工作状态及没有影响校准计量性能的因素。所用的标准样板应确保表面洁净，避免划痕、腐蚀和氧化。X射线能谱仪应预热30分钟以上，直至工作稳定。(具体内容详见附件)
资料来源：全国新材料与纳米计量技术委员会
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