易度仪器获得中国层流质量流量计CPA证书
- 2019/2/25 14:00:42 20108
- 来源：中国计量测试学会
【仪表仪表网 仪表企业】近日，易度仪器收获喜讯，其自主研发的通用型层流质量流量计系列产品，通过中国计量科学研究院的计量器具型式评价试验，获得中国层流质量流量计计量器具型式批准资质证书(简称CPA证书)。产品精度达到国家可批准别1.0级，重复性0.1%，响应时间0.01S。
一直以来，小微气体、液体流量的测量和控制被西方发达国家技术垄断，这项技术在众多制造领域，包括半导体、生物制药、新材料等都属于重要核心技术。易度仪器层流质量流量计的研发和诞生，是公司博士、硕士组成的高素质创业骨干，联合国内的专家学者等组成研发团队，面对国外技术封锁，自2011年以来恪守流体测控领域，自主创新，不懈努力的结晶。
苦心孤诣：七年研发，挑战世界难题
2011年，这个以“80后”为主力军的研发团队开始向国外先进技术发起挑战，当时国外进口的设备独步天下，相关技术也被西方发达国家垄断，国内只有个别厂商可以生产一些低端产品，精度低，重复性差，只能配套于低端产业，由于缺乏核心传感器技术，即便拆开了国外的设备，也难以突破。无数事实表明：试图通过仿制国外先进产品的路是走不通的。从研发一开始，易度团队就清醒地认识到，精密仪器属于技术密集型产品，只有通过自主创新，遵循“概念论证”——“关键技术验证”——“方案验证”——“原理样机”——“工程样机”——“产品样机”——“产品”的技术路线，才能真正掌握技术，研发出高精尖的产品。
这一技术路线耗时之长、成本之高、风险之大，他们中很多人放弃了高薪的工作、舒适的生活，有家人的不理解，也有周围人的嘲笑。当时在微流量测量领域摆在研发团队面前的有两条技术方向：一是以传热学原理为基础的热式质量流量计，主要由欧美日的六七家公司占据绝大部分市场，是技术的主流，技术成熟度较高，但国内一直无法掌握热式传感器这一技术核心；另外一条是以“哈根泊肃叶定理”为基础的层流质量流量计，其核心的层流传感器研发由于技术难度更高，制造工艺极为复杂，让那些生产热式质量流量计的厂商也望而却步。几十年来，范围内取得重大层流技术突破的只有一家美国公司，但离实现大规模商业应用还有不小的距离。
终，考虑到热式技术已趋于成熟，发展空间趋于饱和，在充分调研后，这群80后“初生牛犊”选择了更加先进，拥有广阔技术发展空间，但技术门槛更高的层流质量流量计技术路线，开始专注于攻克核心技术——“通用型层流传感器”的研发。
独立自主：攻克核心，成就中国
毫不夸张地说，一个国家微流体测控水平的高低，决定着制造业水平的高低。小微流量测控领域通常测量范围在0.0001ml/s~100000ml/s，跨度范围超过9个数量级，而每次测量响应速度要小于0.01s，并保证连续两次测量的相对误差小于千分之一，技术难度可想而知。
易度团队历时七年苦心孤诣的研究，从2013年款层流传感器原理验证机的诞生，到2014年代控制板原理验证机的研发，2015年底台层流质量流量计工程样机的研发成功，一直到2017年6月，代层流质量流量计的问世，2018年底顺利通过国家计量院的型式评价认证。这其中没有现成的经验可以借鉴，所有的工作都要从零开始，一遍一遍地设计，一次一次地试验，失败了，重新开始，不，重新改进，研发过程是痛苦的，但值得骄傲的是，易度团队坚持了下来，啃下了一个个硬骨头，并掌握了这项核心技术，成就了今天的产品。
目前该项技术已获国家发明两项，同时在PCT检索中具有新颖性。在国内，也只有易度公司掌握了通用型层流测控技术，产品经过国家高机构的验证，成为中国通过认证的通用型层流质量流量计生产商。
永无止境：专注 增添中国力量
易度仪器成功研发出的层流质量流量计和控制器，不仅能实现对气体和液体质量流量的测量，还能控制，是国内款自主研发的层流原理数字化产品。经过无数次技术改进，产品正日趋成熟，实现了在-20℃到70℃环境下的正常使用，精度控制在1.0级以内，重复性0.1%，响应时间达到0.01S。
聚焦用户过程控制，半导体300多项关键工艺中，有光刻、气相沉积、单晶生产等超过70%的工艺项点都与微流量测量相关；石墨烯等新材料的生产制造过程中，常用的方法增强等离子的化学气相沉积，也需要配给气体和液体；等离子体发动机作为未来航天发展方向，在生产制造工艺和地面测试环节，需要测量小于1ml/min稀有气体的质量流量，这是等离子体发动机稳定工作的关键测试工艺。
近五年，微流量测量领域业务每年以30%的速度迅猛增长，随着以芯片制造、生物医药、新材料、3D打印和微纳制造为代表的新兴制造业的迅猛发展，更加精细化的制造工艺对微流量测量控制仪器提出了更高要求。在当前国家大力发展制造业的背景下，易度仪器有责任也有信心继续精钻技术，专注流体测控领域，解决微流量测控领域难题。
(原文标题：易度仪器顺利取得中国层流质量流量计CPA证书)
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