《数字式激光球面干涉仪校准规范》征求意见稿发布_干涉仪,计量,测量

《数字式激光球面干涉仪校准规范》征求意见稿发布

2017/6/21 8:27:02 23307: 来源：仪表网

摘要：近日，全国几何量工程参量计量技术委员会发布《数字式激光球面干涉仪校准规范》征求意见稿，并面向全国的计量机构、科研院所及企业征求意见。

　　【仪表网仪表标准】近日，全国几何量工程参量计量技术委员会发布《数字式激光球面干涉仪校准规范》征求意见稿，并面向全国的计量技术机构、科研院所以及相关的行业企业征求意见。

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　　该规范主要起草单位为中国科学院光电技术研究所、中国计量科学研究院、中国测试技术研究院。编写中，引用了GB 2831-2009《光学零件的面形偏差判读测试结果》、GJB/J 6221-2008《数字式激光平面干涉仪校准规范》、JJF 1100-2003《平面等厚干涉仪校准规范》、JJG 28-2000《平晶检定规程》、JB/T 7401-1994《平面平晶 JJF 1001 通用计量术语及定义 JJF 1059 测量不确定度评定与表示》等文件中的相关内容。

　　数字式激光球面干涉仪主要用于球面光学元件面形误差的测量。其基本原理是通过分析参考球面与被测球面产生的干涉条纹而获得被测球面面形误差信息，其检测精度直接受到干涉仪误差(参考面面形误差、随机电子噪声、环境振动及气流扰动等)的限制。近年来，大量进口和国产的数字式激光球面干涉仪在光学制造行业尤其是国防工业领域投入使用。

　　根据可查阅到得相关资料显示，国内外目前尚没有关于数字式激光球面干涉仪的校准规范，仅存在数字式激光平面干涉仪的校准规范《GJB/J 6221-2008 数字式激光平面干涉仪校准规范》。由于球面干涉仪与平面干涉仪之间在标准镜的选择、安装与调整、光路结构、被测镜的检测与标定方法等方面存在极大的不同，其校准规范不能相互适用，经常出现不同用户之间测量方法不统一、测量数据不吻合的问题，故十分有必要制定数字式激光球面干涉仪的校准规范来规范和完善生产厂家和计量机构等在校准球面干涉仪时在校准项目、校准方法、校准器具的要求及技术要求和准确度等级等方面的表述。为了保证量传的准确性，有必要制定国家校准规范，保证量值的准确统一。

　　此外，遵从JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》的要求，此规范架构上包括封面、扉页、目录、引言、范围、引用文件、概述、计量特性、校准条件、校准项目和校准方法、校准结果表达、复校时间间隔、附录几个部分。更多详细情况请见附件。