重大科学仪器开发专项——微纳米测量仪获进展
- 2016/12/8 9:02:22 18717
- 来源：上海市计量测试技术研究院
会上，谢正文副处长通报了国家重大科学仪器设备开发专项2016年度项目中期评估结果。此次共有29个项目参加评估，本项目的中期评估综合等第为A类，成为仅有的5个A类项目之一。与会的领导和专家都对本项目获得如此高的评分表示祝贺！
项目负责人邵力向与会领导和专家介绍项目进展、展示项目成果，并汇报下一阶段工作计划与系列样机规划。本项目已研制高精度跨尺度微纳米测量仪一台、通用型跨尺度微纳米测量仪两台（装配中），性能指标及相关参数均符合科技部立项要求。并且，本项目研发仪器已在纳米标准样品的制备及检测、超精密加工材料的微介观结构检测、IC晶圆的检测、环境颗粒物质的检测等方面展开应用。
参会领导、专家组、监理组和用户委员会成员都对本项目的发展及应用前景表示乐观，建议加强项目后续工程化、产业化工作，进一步提高仪器的稳定性和可靠性，集中1-2个较好领域研发专业化的应用软件。
王越薇副司长提出，要重视知识产权的问题，通过深入挖掘真正的需求要害点、后期引入专业的市场营销人才等手段，使中国制造的仪器真正走向市场。
（原标题：国家重大科学仪器设备开发专项“跨尺度微纳米测量仪的开发和应用”2016年度会议在市计测院召开）
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