近红外线光谱仪新品利用MEMS技术降低尺寸
- 2016/7/5 16:07:57 16195
- 来源：MEMS技术
Fraunhofer开发出可携的手持近红外线光谱仪，利用MEMS技术降低尺寸与价格，可取代当今所用的大型、昂贵设备
佛罗恩霍夫协会(Fraunhofer Gesellschaft)拥有67所机构遍布德国，每个机构各专注于不同的应用与技术，总共雇用了23,000名科学家与工程师，研发预算高达20亿美元，其中的30%来自政府资助，其他70%则来自与产业的合作。
基于MEMS的光谱仪有两种尺寸——小型与微型级。较大尺寸的机型大约有鞋盒的三分之一(相形之下，现有的实验室光谱仪尺寸相当于行李箱大小)，利用 MEMS光学干扰滤波器，广泛涵盖3-11微米波长。取决于所使用的干扰量级，全宽/半高(FWHW)带宽大约可达到50-200nm的纳米级。
微型MEMS光谱仪的完整侦测模块，采用TO-8封装
电子可调的通频带利用2个相等且可移动的反射载子，达到70%以上的大透射率，可让施力于反射间隔上引起的振动与重力小化。
目前用于微型光谱仪中小Fabry-Perot干涉仪(FPI)的芯片尺寸约 7mm x 7mm x 0.6mm
较大的光谱仪可用于取代实验室中不需要达到高灵敏度或光谱范围的光谱仪，或是作为取代某些特定应用光谱仪的理想选择。其他应用包括工业工艺光谱仪、沼气厂房控制、燃油监测系统以及食品质量分析。
较小的光谱仪基于Fabry-Perot干涉仪(FPI)，可打造足以塞进TO-8封装的小尺寸。这款FPI芯片尺寸为7 x 7 x 0.6mm2，用于扩展标准固定波长多色红外线探测器的功能。其极低价格和小尺寸使其适于红外线光谱的大量应用，包括光谱成像、医疗测量、工业气体分析仪、衰减式全反射(ATR)传感器、手持式分析仪、传感器网器、警示与安全系统等。
（原标题：MEMS光谱仪大幅缩小实验室设备）
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