资讯中心

中科院完成适用于多种EMS传感器件研发工作

2016/5/9 11:35:39    23054
来源:中科院网站
摘要:近日,中科院微电子研究所科研团队联合江苏艾特曼公司,完成了“高精度三轴加速度计”产品工艺的开发与验证,可为MEMS设计单位提供产品服务。
  【仪表网  仪表研发】近日,中科院微电子研究所科研团队联合江苏艾特曼电子科技有限公司,借助中科院微电子所8英寸CMOS工艺平台,完成了“高精度三轴加速度计”产品工艺的开发与验证,经使用测试,器件性能表现良好,符合设计预期,可为MEMS设计单位提供产品服务。
  

  目前,中科院微电子所科研人员针对产业界对MEMS代工的需求,以高精度三轴加速度计开发为牵引展开攻关,致力于在现有8英寸硅工艺线上,实现与CMOS工艺兼容的通用MEMS加工平台技术,成功开发出大深宽比MEMS结构刻蚀、MEMS与ASIC晶圆堆叠、TSV电学连接及晶圆级盖帽键合封装等关键工艺技术的量产,终实现了TSV的ASIC晶圆、MEMS结构晶圆及盖帽晶圆的三层键合工艺,顺利交付三轴加速度计产品。
  
  目前,中科院微电子所在现有8英寸硅工艺线基础上,已经形成了适用于多种MEMS传感器件(例如高精度两轴、三轴加速度计,高度计,压力、红外热敏等器件)加工的Post CMOS-MEMS标准工艺,并实现了该工艺技术平台化的开发,可为MEMS设计单位提供产品工艺研发与批量加工服务。

       (原标题:中科院研发高精度三轴加速度计取得一定技术进展)

全部评论

上一篇:国产LNG低温球阀样机顺利通过验收

下一篇:气体检测报警器智能检定装置的研究与应用获奖

相关新闻
热门视频
相关产品
写评论...